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加热型等离子薄膜溅射仪--GSL-1100X-SPC12H

简要描述:GSL-1100X-SPC12H是一款紧凑型加热等离子薄膜溅射仪,专门设计为基地镀上金属膜,如金,铂,铟和银等。Z大可放置样品尺寸直径为40mm,膜厚可达300埃,特别适用于为SEM样品镀上金而作为导电极。此款等离子薄膜溅射仪上自带了所必要的配件,可立即使用,包含一个溅射靶材,真空泵,不锈钢波纹管和快速卸装卡箍。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-21
  • 访  问  量:1675

产品分类

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详细介绍

技术参数

输入电源

208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W 

样品室

  • 石英腔体尺寸, 100 mm Dia. x 130mm H
  • 带有不锈钢法兰

             

衬底加热器

 

  • 载样台的尺寸为60 mm,可加热到600度
  • 一个30段可编程温度控制器,控温精度±1ºC
  • 推荐升温速率:15°C/m
  • 样品台的高度可以调节
     

 

                    

样品台                     温控盒后视图


真空配置

  • 每个配件包含在内,可立即使用

  • 仪器中配有一台2L/S双旋片机械泵,出气口安装有立式油污过滤器,过滤真空泵工作时产生的油烟,和减少泵油的损耗,保护环境和人体健康。
  • 高纯度金箔靶

进气口

有一不锈钢针阀安装在仪器上,可以通入氩气,能实现更好的等离子涂层


靶材

  • 标配靶材
  • 包含:4N purity Gold foil:  57 mm dia. x 0.12 mm 
  • 可选靶材:请点击查看 Au, Ag or Pt tagets.                

外形尺寸

L480mmx W320mm x H150mm

运输重量

160Lbs with crating

净重

20 kg

质保期

一年质保期,终身维护

质量认证

  Certified

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  • 邮箱:zhumoyi@kjmti.com

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