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技术参数
输入电源  | 208V - 240V, 50/60 Hz, < 3000W  | 
样品室  | 
 
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衬底加热器 
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 样品台 温控盒后视图  | 
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进气口  | 有一不锈钢针阀安装在仪器上,可以通入氩气,能实现更好的等离子涂层  | 
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外形尺寸  | L480mmx W320mm x H150mm  | 
运输重量  | 160Lbs with crating  | 
净重  | 20 kg  | 
质保期  | 一年质保期,终身维护  | 
质量认证  | 
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