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HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头,可适用的靶材种类较广,如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。
HVMSS-SPC-1-LD是一款磁控溅射头,可安装直径为1英寸的靶材。可与直流、脉冲直流和射频电源相匹配,以至于可以溅射各种靶材(如金属、陶瓷、磁性和非磁性靶材等)。而且高真空的结构设计,可提高镀膜质量。
本公司提供高真空腔体,客户可自行为一些实验搭建真空系统,如等离子溅射,CVD或ALD等实验,同时也可作为高真空储存箱。
RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF(射频)电源,频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用,可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。
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