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高真空腔体--HVC-SS

简要描述:本公司提供高真空腔体,客户可自行为一些实验搭建真空系统,如等离子溅射,CVD或ALD等实验,同时也可作为高真空储存箱。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-07-21
  • 访  问  量:3065

详细介绍

  本公司提供高真空腔体,客户可自行为一些实验搭建真空系统,如等离子溅射,CVDALD等实验,同时也可作为高真空储存箱。

 技术参数

腔体

  • 真空腔体是采用304不锈钢制作
  • 内部尺寸为:372mm(L) x 420mm(W) x 480mm(H) 
  • 真空腔体前部安装有一个直径为350mm的门,而且门上面有一个直径为150mm的玻璃窗口
  • 门部位采用硅胶密封圈密封
  • 真空度可达到1×10-6 torr
  • 内部加热平台的温度可达到150

接口

  • 腔体后端有一个KF40接口,用于连接真空泵
  • 顶部有一1/4 NPS 
  • 顶板可以进行打孔和改造,以便于安装各种接口和接头
  • 客户可在本公司购买快速真空接头

可选

  • 本公司进口的防腐型数字式真空显示计,不需因测量气体种类不同而需要系数转换(请点击图片查看详情)
  • 分子泵系统
外形尺寸

质保期

一年质保期,终身维护

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中美合资合肥科晶材料技术有限公司 公司地址:安徽省合肥市蜀山区科学院路10号   技术支持:化工仪器网
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