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100W小型RF(射频)电源(采用手动匹配)--RF-100-LD

简要描述:RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF(射频)电源,频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用,可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-10-19
  • 访  问  量:2800

详细介绍

   RF-100-LD是一款小型手动匹配100WRF(射频)电源,频率为13.56MHz.此设备设计专门与本公司的1英寸的磁控溅射头配用,可搭建起一套比较廉价的溅射镀膜系统,用于制作非导电薄膜。

 

技术参数

射频电源


 

(点击图片查看详细资料)

  • 输出:5-100W(可调),稳定性:± 1%
  • 频率:13.56MHz,稳定性:±0.005%
  • 匹配方式:手动匹配
  • 冷却方式:风冷
  • 噪音量:<50 dB
  • 输入:110 -240VAC, 50/60Hz

尺寸

可选配件

  • 1英寸高真空磁控溅射头,可自己搭建RFDC溅射镀膜仪
  • 当同时购买100W射频发射器和1英寸磁控溅射头时,本公司会赠送一高真空快速接头
  • 此快速接头的内径为0.75英寸,可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1英寸,真空腔体的壁厚不得大于1英寸
  • 循环水冷机,流量为16L / min ,水箱容积为6L

 

质保期

一年质保期,终生维护

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