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小型蒸镀仪标准操作步骤

更新时间:2017-11-21      点击次数:2559
   小型蒸镀仪是一款小型真空镀膜仪,特别适合蒸镀一些轻金属,如Al.Mg,和Li等。同时也可对样品进行镀碳处理,zui大可处理的样品直径为50mm。

小型蒸镀仪

  小型蒸镀仪的使用可分为34步,即蒸镀前准备工作、蒸镀仪的预热、蒸镀薄膜以及关机.
  1、蒸镀前准备工作:
  1.1)开充气阀,对钟罩内充气,再升钟罩;
  1.2)根据钟罩内是否清洁,先使用酒精清洗钟罩内的零部件;
  1.3)安装钼舟,并将铝丝条放入钼舟中,并将所要沉积的衬底粘附于铝板上;
  1.4)降钟罩,在钟罩下降的同时要观察是否存在物品及杂物存在于钟罩内。
  2、蒸镀仪的预热:
  2.1)开机械泵,抽钟罩,接通低真空测量,直至钟罩内真空度降低到5Pa以下;
  2.2)调节螺丝至10-20帕之间,此时可以对蒸镀衬底材料进行轰击处理,若不需要轰击,则直接进入下一步骤。轰击时间根据需要自己控制,主要为了处理沉积衬底表面。轰击完毕,把轰击转盘调零,再将表盘的“轰击”档转为“关”档;
  2.3)将低阀推到抽系统位置,待压强低于5Pa后,开扩散泵,预热40分钟。
  3、蒸镀薄膜:
  3.1)在预热完毕后,开高阀,约40-60秒后,接通高真空测量(开灯丝),低真空测量换到扩散泵前级测量,当真空度达到2-3×10-3,满足蒸镀真空要求;
  3.2)开“工件旋转”档,根据需要调节“工件旋转”的速度(接触调压器值20-30);
  3.3)开通烘烤,调节好所需的温度,根据实际需要设置烘烤时间。如果无需烘烤,则可进入下一步进行蒸镀实验;
  3.4)选好所放电极的位置,接通“蒸发”档,将一颗“铜扭”插入对应的电极位置,开始增大电流(180A左右)进行溶解蒸镀的材料,当发现已经熔解,将挡板挡住蒸发源。待*熔解后,打开挡板,让材料蒸镀到衬底表面;
  3.5)蒸镀完毕后,各档归零。关高真空测量,关高阀,低阀拉出到“抽钟罩”位置,停机械泵,待工件冷却后,对钟罩充气,升钟罩,取出零件,清洗镀膜室。
  3.6)如需另外蒸镀,则重新换衬底,电极(钼舟)内加料。
  4、关机:
  4.1)如果蒸镀完毕,结束实验时,先关高真空测量,关高阀,停扩散泵,开机械泵。待机2小时退热后,将低阀拉出至“抽钟罩”位置,让钟罩内保持一定的真空度;
  4.2)关蒸镀仪的总开关;
  4.3)先关“进水”阀,后关“出水”阀(冷却水);
  4.4)关蒸镀仪的电源;
  4.5)关总电源。
  4.6)镀膜实验结束后,注意清洗各部分原件,各种材料归位,打扫卫生保持实验室的干净。

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