咨询热线

18255163376

当前位置:首页  >  技术文章  >  3靶等离子溅射仪操作使用步骤

3靶等离子溅射仪操作使用步骤

更新时间:2017-11-08      点击次数:1795
  3靶等离子溅射仪的使用分3个步骤,即装样品、抽真空、溅射,待厂家为您一一讲解:

3靶等离子溅射仪


  一、装样品
  1、充气:打开充气旋钮,使得空气进入钟罩。
  2、开电源总开关,接通电源。
  3、升钟罩:将“升”开关拨到下方,待钟罩升到合适位置时,按住“停”按钮,钟罩停止上升,将“升”开关拨回到上方。
  4、放样品:将放有样品的载物台固定到钟罩中。
  5、降钟罩:按一下“降”按钮,钟罩开始往下降,降到适当的位置使得钟罩密封时自动停止。(注意,在钟罩将要降到底时可以在前边稍往上抬钟罩,以保证钟罩的密封效果,利于后面的真空抽取。)
  6、将充气旋钮旋紧。
  二、抽真空
  1、抽低真空:样品装好后,再一次确认充气旋钮已旋紧。然后将电源开关旋钮打到机械泵,打开低真空计。
  2、(逆时针)旋转管道阀门Ⅰ,在旋转到zui满时回旋1-2圈;过一会后(一般这时候真空机压强在10Pa左右),逆时针旋转打开管道阀门Ⅱ。
  3、上面步骤完成后,机械泵抽一段时间后,当真空计读数在6-5Pa左右时,可打开扩散泵。
  4、通冷却水,再将电源开关旋到扩散泵。
  5、约半小时后,关闭管道阀门Ⅰ,(逆时针、打开打开扩散泵旋钮(至满回旋1-2圈、。这时候低真空计压强将会突然变大,待压强再一次回到
  10Pa后,打开高真空计(方法看下一步、。
  6、抽高真空:按下高真空计电源开关,再按下灯丝按钮;将压强档打到10-1档,抽真空到压强小于1×10-1Pa时,可打到10-2档,依次类推,知道满足自己的需要(一般zui大能达到×10-3档、。
  三、溅射
  1、先讲溅射装置打开,有加速电压、中和电压、阴极电流和阳极电压。(注意还有外接的毫安表,这是用来测试流过靶材的电流。、
  2、先将真空计回旋一档(×10-2、,通A气,当达到满足的要求时位置(通气时要慢慢的旋转通气旋钮,防止通气忽大忽小不易控制。、
  3、调加速电压(如200V),屏级电压(如1000V),阴极电流(如12A)和阳极电压(如55V)进行溅射。(调剂经验:在加速电压调好后,先调节屏级电压到要求值,然后调节阴极电流和阳极电压到比预定值稍小,zui后通过协调这三个旋钮调出束流。一般调出束流后,屏级电压调至合适就不要再跳,阴极电流对束流的影响较大,当束流合适后,也不易再跳,主要通过阳极电压来控制束流为一定值。)
  4、溅射到要求时间后,将阴极电流、阳极电压和屏级电压旋到zui小,等到屏级电压显示值为零时,关闭他们对应的电源开关。
  5、将高真空计档打到10-1档,关高真空计灯丝和电源开关,关低真空计。
  6、旋紧扩散泵旋钮,将电源开关由扩散泵打到机械泵,继续通冷却水。
  7、待大约半小时以后,扩散泵冷却,关闭机械泵,关总电源开关,关冷却水。

联系我们

中美合资合肥科晶材料技术有限公司 公司地址:安徽省合肥市蜀山区科学院路10号   技术支持:化工仪器网
  • 联系人:朱沫浥
  • QQ:2880135211
  • 公司传真:86-551-65592689
  • 邮箱:zhumoyi@kjmti.com

扫一扫 更多精彩

微信二维码

网站二维码