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2英寸高真空磁控溅射头--HVMSS-SPC-2-LD

简要描述:HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头,可适用的靶材种类较广,如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DC或RF电源配合使用。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-16
  • 访  问  量:1994

详细介绍

    HVMSS-SPC-2是一款可安装直径为2英寸靶材的磁控溅射头,可适用的靶材种类较广,如金属/绝缘靶材或磁性/非磁性靶材。环形NdFeB永磁体安装在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。此款溅射头可与DCRF电源配合使用。


技术参数

特征

(点击图片查看详细资料)

 

  • 采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作
  • 采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均强场分布
  • 磁体表面涂有一层保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命
  • 标准的HN型接头,可与DCRF电源相匹配
  • 安装是采用标准真空接头,便于操作
  • 更换靶材较为简单,无需调整溅射头的高度

所需功率

  • DC(zui大)1000W
  • RF(zui大)500W

zui大溅射电流

3A

溅射电压

100-1000 V

溅射时腔体真空度

5-100 mTorr

溅射均匀性曲线图

尺寸

  • 阳极护套直径:3.5英寸
  • 总长度:14英寸

靶材

  • 直径: 2.0英寸(50.8mm)
  • 厚度对于非磁性靶材,zui大厚度为1/4英寸
             
    对于磁性靶材,zui大厚度为1/16英寸
  • 靶材利用率:30%
  • 磁铁:NdFeB 稀土磁铁

需要冷却水

  • 流速:   0.8 GPM
  • 进水温度:<20 ℃
  • 水管:0.25" OD.

可选配件

  • 当同时购买300W射频发射器和2英寸磁控溅射头时,本公司会赠送一高真空快速接头
  • 此快速接头的内径为0.75英寸,可将溅射头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1英寸,真空腔体的壁厚不得大于1英寸
     
  • 循环水冷机,流量为16L / min ,水箱容积为6L

质保

一年质保期,终生维护

 

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