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当前位置：首页   >  产品中心  >  薄膜制备全套设备  >  3靶等离子溅射仪  >  VTC-16-3HD3靶等离子溅射仪

3靶等离子溅射仪

简要描述：VTC-16-3HD是一款紧凑型CE认证的等离子薄膜溅射仪（直流普通型），基片Z大尺寸2英寸，加热温度为500度和控制面板为触摸屏模式。它可以溅射三种类型的靶材和放置样品的直径是50mm . 旋转样品台，可以依次在同一样品上涂覆三种材料，金靶，银，铜, 它可以与真空泵，不锈钢波纹管KFD25快速卸装卡箍相连用.

  • 产品型号：VTC-16-3HD
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2024-02-21
  • 访  问  量：3279
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详细介绍

3靶等离子溅射仪技术参数

输入功率
  • 110V / 220V 通用
  • < 2000W (含真空泵)

输出功率
  • 1600VDC
  • zui大电流50mA 

样品室

石英罩： 160 mm Dia. x 120mm Height

加热样品台
 
  • 一个外径50 mm 的样品台, 可以移动三个位置 
  • 基片可以放在样品台上. 加热温度 500°C
  • PID控温方式和触摸屏面板，控温精度+/-10°C 
  • zui长溅射时间不可超过5分钟

控制面板
 
  • 控制面板为PLC，4.3" 触摸屏
  • 一个控制面板可以控制所有的参数,包括真空度 , 电流 , 靶材位置 和 基片加热温度

可选
 

 
  • KF25 真空接口、卡箍，和600mm长不锈钢波纹管
  • 120L/M旋片式真空泵（包含在仪器内）
  • 不锈钢波纹管与KF-25真空接口相连接
  • 各种高纯度金属靶
  • 需要一个带压力调节器的氩气瓶 （这个我们不提供）

进气口

 一个精密可调针阀安装在进气口，以实现方便的调节进气量



靶材

 

 

标配靶材分别有

  • 金，银，铜 靶材: 
  • 尺寸: 金靶  47 mm dia. x 0.12 mm, 1pcs

         银靶  47 mm dia. x 0.5 mm,  1pcs

         铜靶  47 mm dia. x 2.0 mm, 1pcs

  • 可选靶材点击链接、
    Pt , Ag target , Zinc tarhetD

 外形尺寸
 

 

  • 360mm × 350mm × 360mm (L×W×H)
  • 净重:50KG

质保期

一年质保期，相关耗材除外，终身维护。

质量认证

   Certified

 

 

 

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