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技术参数
输入电源 |
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射频功率 |
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等离子腔体 |
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控制面板 |
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真空泵 |
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通入气体 | 等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合气体等等(根据材料性质所定) |
可选 |
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外型尺寸 | 620 L ×450 W ×600 H, mm |
质保期 | 一年质保期,终生维护 |
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