等离子清洗机--PCE-80

简要描述：PCE-80是一款较大型的等离子清洗机，等离子腔体为 8.5 "dia x 12“"L的石英腔体，采用的射频电源功率0 - 100W连续可调节。此款设备主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等）。对于基片的清洗以及薄膜处理此款设备是较为理想的实验帮手。

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厂商性质：生产厂家
更新时间：2025-02-10
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技术参数

输入电源	AC 220V , 50/60 Hz, zui大射频功率: 100 W 真空泵功率: < 500W 总功率: < 600W
射频功率	射频功率可在 0 - 100W之间调节射频: 13,56 MH 可以与本公司工作人员采用300W或500W的射频电源，来进行等离子刻蚀和等离子灰化等实验
等离子腔体	8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高纯石英腔体铝制折叠式法兰来进行真空密封法兰上有一个直径为60mm的观察窗口
控制面板	通过6" 彩色触摸屏，可控制射频功率、真空泵的开启、清洗时间和气体流量等. 仪器内部安装有一0 - 500ml/minute质量流量计，可精确地控制进气流量
真空泵	仪器中包括一台240L/min直联式双旋真空泵、KF25波纹管以及KF25的手动挡板阀。极限真空度为50mTorr
通入气体	等离子腔体中可以通入多种气体来产生等离子，如N2, Ar, Air，H2、O2和混合气体等等（根据材料性质所定）
可选	可选购 2" - 6" 石英舟来盛放基片可选购2-4通道质子或浮子混气系统
外型尺寸	620 L ×450 W ×600 H, mm
质保期	一年质保期，终生维护

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