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多功能试样表面处理机

简要描述：多功能试样表面处理机是为扫描电镜和电子揉针等进行试验制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氢气保护下进行等离子处理。对于实验室此款设备是*的镀膜设备。

  • 产品型号：GSL-1800X-SBC2
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2024-02-22
  • 访  问  量：2885
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详细介绍

多功能试样表面处理机是为扫描电镜和电子揉针等进行试验制备的设备，可进行真空蒸碳、真空镀膜和离子溅射，它也可以在高纯氢气保护下进行等离子处理。对于实验室此款设备是*的镀膜设备。

技术参数

输入电源

208 - 240VAC  , 10A , 50/60 Hz, 单相

功率

< 2000W  (包括真空泵)

输出电压 (DC)
  • AC10V  zui大电流 100A （对于真空镀膜）
  • DC 3KV, 10mA   （对于等离子溅射）

真空腔体

 

有一玻璃钟罩：250mm dia. x 340mm

（2）玻璃处理室：

  • 玻璃罩 A:内径８８mm×高度１４０mm（用于真空镀膜)
  • 玻璃罩 B:内径８８mm×高度５７mm（用于等离子溅射）


镀膜装置

 


 

对于制膜，仪器可设置三种模式：

（1）一种模式专门针对于蒸发镀膜（下方左图）

  • 此仪器可以同时蒸镀两种材料，其zui高温度可以达到1800℃
  • 采用钨丝进行加热

（2）蒸碳镀膜模式（下方中图）

仪器中包括有两组碳棒

（3）直流等离子溅射模式（下方右图）仪器中包含有一金靶（38mm Dia x 0.2 mm t）

  • 可在本公司选购其他材质靶材( 请点击查看 )
  •      

    Thermal Evaporation  Carbon coating   Plasma sputtering

样品台
  • 样品台可以自动转动（见做图）
  • 样品台尺寸：40mm
  • 仪器上安装有一电动快门用于控制蒸镀的开始与停止（见右图）  


真空泵
  • 仪器下端安装有一机械泵和分子泵
  • 抽速:600L/S
  • 真空度:  10-6 torr
  • 设备工作环境温度:< 32°C

控制面板

在控制面板上可以选择镀膜模式，调节溅射电流和蒸发功率

外型尺寸

L800mm× W560mm× H1340mm

净重

150 kg

质保期

一年质保期，终身维护
质量认证

CE certified

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