多功能试样表面处理机是用于扫描电子显微镜和电子探针的样品制备的设备。它可以在高纯氩气的保护下进行各种离子处理,也可以对碳和金属进行真空蒸煮。通过该设备处理的样品可用于外观观察和样品成分分析,尤其是成分的定量分析更适合。采用分子泵系统,特别适合真空度要求高,真空环境良好的用户。
多功能试样表面处理机在高纯氩气的保护下,它可以进行各种离子处理。也可以对碳和金属进行真空蒸煮。用该设备处理的样品可用于样品的形态观察和成分分析。尤其是成分的定量分析更适合。该设备采用由分子泵和机械泵组成的高真空单元系统。样品以三种方式移动:平面旋转,倾斜旋转和倾斜进动。
多功能试样表面处理机的应用领域:离子喷涂,离子溅射,离子清洗,碳的真空蒸镀,金属的真空蒸镀等。它是一种适用于样品制备的多功能机器,如扫描电子显微镜,电子探针和透射电子显微镜。它具有真空蒸发台,离子溅射和蚀刻装置的多种复合功能,以及可进行多次移动的样品台。它可以在平面上旋转,沿倾斜方向旋转和倾斜进动。它可以对样品执行各种处理,例如:离子喷涂(在气体电离条件下为真空蒸发),离子溅射,离子蚀刻,离子清洗和离子稀化,还可以进行真空蒸发和碳蒸汽处理。因此,它适用于金属和合金样品的制备。
1、钟罩尺寸:内径Φ250mm×高340mmØ玻璃处理室:内径Φ88mm×高140mmØ内径:Φ88mm×高57mm。
2、样品台尺寸:Φ40mm。
3、金靶尺寸:Φ38mm。
4、真空度:优于2×10-3Pa。
5、样品移动方式:平面旋转,倾斜旋转,倾斜进动Ø真空系统:由分子泵和机械组成的高真空泵单元。
6、真空检测:热电偶表,冷表。