近年来，市场对质量的要求越来越严格，国际上对环保的要求也越来越严格，我国许多高密度清洁行业面临严峻挑战。现在市面上出现的超声波清洗机都无法达到改装的效果，它们只能清洁表面上的一些可见物体。由于制造过程中的各种缺陷，衍生出等离子清洗机等高科技产品。多功能试样表面处理机可以实现表面改性、清洗和产品性能提升，大大降低了产品在制造过程中造成的不良率，从而提高了产品质量，降低了成本等等。目前，等离子清洗机给很多工业生产企业带来了很大的便利。
多功能试样表面处理机将硅片置于真空反应系统中，通入少量氧气，加1500V高压，高频信号发生器产生高频信号，使石英管内形成强电磁场，氧被电离，形成氧离子、活化氧原子、氧分子和电子混合的等离子辉光柱。活性氧（活性原子氧）可以将聚酰亚胺薄膜迅速氧化成挥发性气体，通过机械泵将其抽走，从而去除硅片上的聚酰亚胺薄膜。等离子脱胶的优点是脱胶操作简单、脱胶效率高、表面干净光滑、无划痕、成本低、环保。
多功能试样表面处理机一般采用电容耦合等离子体平行板反应器。在平行电极反应器中，反应离子蚀刻腔采用阴极面积小阳极面积大的非对称设计，被蚀刻的物体放置在面积较小的电极上。在射频电源产生的热运动作用下，带负电的自由电子质量小，运动速度快，迅速到达阴极；而正离子由于质量大、速度慢，不能同时到达阴极，从而使阴极附近形成带负电荷的鞘层。在护套的加速作用下，正离子垂直轰击硅片表面，加速表面的化学反应和反应产物的分离，产生很高的蚀刻速率。离子轰击还可以实现各向异性蚀刻，实现与等离子脱脂和等离子蚀刻相同的原理，区别在于反应气体的类型和等离子体的激发方式。
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