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多功能试样表面处理机能让产品干净光洁,不信你看!

更新时间:2021-06-24      点击次数:979
  近年来,市场对质量的要求越来越严格,国际上对环保的要求也越来越严格,我国许多高密度清洁行业面临严峻挑战。现在市面上出现的超声波清洗机都无法达到改装的效果,它们只能清洁表面上的一些可见物体。由于制造过程中的各种缺陷,衍生出等离子清洗机等高科技产品。多功能试样表面处理机可以实现表面改性、清洗和产品性能提升,大大降低了产品在制造过程中造成的不良率,从而提高了产品质量,降低了成本等等。目前,等离子清洗机给很多工业生产企业带来了很大的便利。
  多功能试样表面处理机将硅片置于真空反应系统中,通入少量氧气,加1500V高压,高频信号发生器产生高频信号,使石英管内形成强电磁场,氧被电离,形成氧离子、活化氧原子、氧分子和电子混合的等离子辉光柱。活性氧(活性原子氧)可以将聚酰亚胺薄膜迅速氧化成挥发性气体,通过机械泵将其抽走,从而去除硅片上的聚酰亚胺薄膜。等离子脱胶的优点是脱胶操作简单、脱胶效率高、表面干净光滑、无划痕、成本低、环保。
  多功能试样表面处理机一般采用电容耦合等离子体平行板反应器。在平行电极反应器中,反应离子蚀刻腔采用阴极面积小阳极面积大的非对称设计,被蚀刻的物体放置在面积较小的电极上。在射频电源产生的热运动作用下,带负电的自由电子质量小,运动速度快,迅速到达阴极;而正离子由于质量大、速度慢,不能同时到达阴极,从而使阴极附近形成带负电荷的鞘层。在护套的加速作用下,正离子垂直轰击硅片表面,加速表面的化学反应和反应产物的分离,产生很高的蚀刻速率。离子轰击还可以实现各向异性蚀刻,实现与等离子脱脂和等离子蚀刻相同的原理,区别在于反应气体的类型和等离子体的激发方式。

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