无论是大气(常压)等离子清洗机，还是真空(低压)等离子清洗机，在对材料进行表面改性的时候都会通入工艺气体，如无水无油的干净压缩空气，有一定纯度要求的氮气、氧气、氩气等等离子清洗机中通入的普通工艺气体要想转化为等离子体，每个粒子大约需要：：（1~30eV（1eV=1.6022×10-19焦耳）的能量，其中的粒子具有较高的活性和能量密度。
但要注意的是，电离的气体不一定是就是等离子体，虽然等离子体和普通气体存在一些共同特点，如它们均满足气体状态方程，但它们却有截然不同的性质，
PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz(1%)，输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等)，对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
主要特点：
1.通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
2.时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
3.设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体。
4.选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。
参数：
1.电源：AC220V 50/60Hz
2.输出功率：7.2W、10.2W、29.6W
3.真空泵功率：<500W
4.总功率：<600W
5.射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节
6.等离子腔体：高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗
7.真空泵：24L/min，直连式双旋真空泵
8.极限真空度：50mtorr
9.通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)
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