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等离子清洗机中的等离子体与普通气体有什么区别?

更新时间:2021-06-27      点击次数:1720
  无论是大气(常压)等离子清洗机,还是真空(低压)等离子清洗机,在对材料进行表面改性的时候都会通入工艺气体,如无水无油的干净压缩空气,有一定纯度要求的氮气、氧气、氩气等等离子清洗机中通入的普通工艺气体要想转化为等离子体,每个粒子大约需要::(1~30eV(1eV=1.6022×10-19焦耳)的能量,其中的粒子具有较高的活性和能量密度。
  但要注意的是,电离的气体不一定是就是等离子体,虽然等离子体和普通气体存在一些共同特点,如它们均满足气体状态方程,但它们却有截然不同的性质,
  PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。
  主要特点:
  1.通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
  2.时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
  3.设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体。
  4.选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。
  参数:
  1.电源:AC220V  50/60Hz
  2.输出功率:7.2W、10.2W、29.6W
  3.真空泵功率:<500W
  4.总功率:<600W
  5.射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
  6.等离子腔体:高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
  7.真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
  8.极限真空度:50mtorr
  9.通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等(根据材料性质选定)

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