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膜厚监测仪--EQ-TM106

简要描述:EQ-TM106膜厚监测仪是采用石英晶体振荡原理,结合先进的频率测量技术,进行膜厚的在线监测。主要应用于MBE、OLED热蒸发、磁控溅射等设备的薄膜制备过程中,对膜层厚度及镀膜速率进行实时监测。根据实时速率可以输出PWM模拟量,作为膜厚传感器使用,与调节仪和蒸发电源配合实现蒸发源的闭环速率控制。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-21
  • 访  问  量:2035

详细介绍


技术参数

主要特点

  • 本机可与计算机连接。
  • 显示仪具有界面简洁、直观、合理、操作方便快捷等优点,可直观显示所测的膜厚、速率、频率、PWM  
  • 控制输出的百分比等工作状态。
  • 通过软件或显示仪可对门控时间、输出方式、速率算法、材料参数、输出量程及通讯参数等进行设置,并可将所测相关数据写入Excel文件。
  • 具有体积超小、测量精度高、操作简单、使用方便等优点。

EQ-TM106-1监测组件

 

  • 电源:DC   5V(±10%),zui大电流400mA
  • 频率分辨率:±0.03Hz
  • 膜厚分辨率:0.0136Å(铝)
  • 膜厚准确度:±0.5%,取决于过程条件,特别是传感器的位置,材料应力,温度和密度
  • 测量速度:100ms-1s/次,可设置
  • 测量范围:500000Å(铝)
  • 标准传感器晶体:6MHz
  • 计算机接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8,停止位:1,校验:无)
  • 模拟输出:8比特分辨率,PWM脉宽调制输出(集电极开路或内部5V输出)
  • 工作环境:温度0-50℃,湿度5%-85%RH,不得有冷凝水珠
  • 外形尺寸:90mm×50mm×18mm

 

EQ-TM106-2显示仪

 

  • 输入电源:AC 220V±10%
  • 输出电源:DC   5V  3A
  • 显示器:12×2数码管与LED
  • 通讯端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可设置,数据位:8位,停止位:1位  ,奇偶校验:无)
  • 外形尺寸:182mm×65mm×160mm

 

EQ-TM106-3探头

 

  • 适用晶片频率:6MHz
  • 适用晶片尺寸:Φ14mm
  • 安装法兰:CF35
  • 冷却水管:Φ3mm,长度300mm、500mm、1000mm
  • 冷却水压:<0.3MPa
  • 气动挡板路管:Φ3mm
  • 压缩空气压力:<0.8MPa,> >0.5MPa
  • 烘烤温度:通水状态<200℃,不通水状态法兰<100℃
  • 电气接口:BCN插座

标准配件

1

EQ-TM106-1监测组件

1个

2

EQ-TM106-2显示仪

1台

3

EQ-TM106-3探头

1个

 

质保期

一年质保期,终身维护 

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