VTC-2DC是一款小型的直流(DC)等离子体磁控溅射镀膜仪系统,系统中包含了所有所需的配件,如500W(600V)的DC电源、2英寸的磁控溅射头、石英真空腔体、真空泵和温度控制器等。对于制作一些金属薄膜,它是一款物美价廉的实验手。
用直流磁控溅射仪可获得单相Al膜
技术参数
输入电源 | - 220VAC 50/60Hz, 单相
- 1000W (包括真空泵)
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等离子源 | - 一个500W,600V的直流电源安装在移动柜内(点击图片查看详细资料)
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磁控溅射头 | - 一个2英寸磁控溅射头(带有水冷夹层),采用快速接头与真空腔体相连接
- 靶材尺寸: 直径为50mm,zui大厚度1.5mm
- 一个快速挡板安装在法兰上(手动操作,见图左3)
- 溅射头所需冷却水:流速10ml/min(仪器中配有一台流速为16ml/min的循环水冷机)
- 同时可选配1英寸溅射头
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真空腔体 | - 真空腔体:160 mm OD x 150 mm ID x 250mm H,采用高纯石英制作
- 密封法兰:直径为165 mm . 采用金属铝制作,采用硅胶密封圈密封
- 一个不锈钢网罩住整个石英腔体,以屏蔽等离子体
- 真空度:10-3 Torr (采用双极旋片真空泵), 10-5 torr (采涡旋分子泵)
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载样台 | - 载样台可旋转(为了制膜更加均匀)并可加热
- 载样台尺寸:直径50mm (zui大可放置2英寸的基片)
- 旋转速度:1 - 20 rpm
- 样品的zui高加热温度为700℃,(短期使用,恒温不超过1小时),长期使用温度500℃
- 控温精度+/- 10℃
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真空泵 | 可选用直联式双极旋片泵,也可选用德国制作的分子泵系统 |
薄膜测厚仪 | - 一个精密的石英振动薄膜测厚仪安装在仪器上,可实时监测薄膜的厚度,分辨率为0.10 Å
- LED显示屏显示,同时也输入所制作薄膜的相关数据
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外形尺寸 | |
重量 | 70Kg |
质保和质量认证 | |
使用注意事项 | - 为了得到较好的金属膜,特别是针对易氧化的金属,如Al, Mg和Li等,必须通入高纯惰性气体(> 5N)
- 强烈建议采用PPM极的气体净化系统(将钢瓶中的惰性气体通过净化系统过后,再导入到真空腔体内)
- 我们也可在设备中安装射频(RF)电源,用于溅射非导电靶材,来制备非金属薄膜
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