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靶磁控溅射仪六大常见问题点及解决对策

更新时间:2021-03-23      点击次数:2232
  靶磁控溅射仪在真空状态下采用电弧放电和辉光放电工作原理,金属和非金属工件的表面镀有金氮化钛,黑碳化钛,彩色氮氧化钛等,也可以涂防腐膜(如AL,Cr不锈钢和TiN等)和耐磨膜,膜层牢固地结合到基板上。溅射工艺用于涂覆以改善膜的粘附性,可重复性,密度和均匀性度等特点,适用于塑料制品,陶瓷,树脂,水晶玻璃制品,工艺品,塑料手机壳,电子产品,建材等行业,具有良好的发展前景。
  靶磁控溅射仪处理六个常见问题及改进对策:
  1、漆膜为黑色和黑色
  (1)真空度小于0.67Pa。真空度应提高到0.13-0.4Pa。
  (2)氩气的纯度小于99.9%。应该用纯度为99.99%的氩气代替。
  (3)充气系统正在泄漏。应检查充气系统以消除空气泄漏。
  (4)底漆未充分固化。底漆的固化时间应适当延长。
  (5)镀层零件的脱气量太大。应当进行干燥和密封处理。
  2、膜层的表面光泽较暗
  (1)底漆固化不良或变质。底漆的固化时间应适当延长或应更换底漆。
  (2)溅射时间过长。应适当缩短。
  (3)溅射成膜速度过快。溅射电流或溅射电压应适当降低
  3、薄膜颜色不均匀
  (1)底漆喷涂不均匀。底漆的使用方法应加以改进。
  (2)薄膜层太薄。适当地增加溅射速度或延长溅射时间。
  (3)灯具设计不合理。夹具设计应加以改进。
  (4)电镀零件的几何形状太复杂。镀层零件的旋转速度应适当提高。
  4、薄膜起皱并破裂
  (1)底漆喷涂得太厚。应控制在7-10tan厚度范围内。
  (2)涂料的粘度太高。应适当减少。
  (3)蒸发速度太快。应该适当放慢速度。
  (4)膜层太厚。溅射时间应适当缩短。
  (5)镀层部分的温度太高。镀层部件的加热时间应适当缩短。
  5、薄膜表面上有水印,指印和灰尘颗粒。
  (1)清洁后,镀层部件不带电。应加强镀前处理。
  (2)水滴或唾液溅到电镀部件的表面。要加强文明生产,操作人员要戴口罩。
  (3)涂上底漆后,用手触摸镀层部分,在表面上留下指纹。严禁用手触摸镀层部件的表面。
  (4)油漆中有颗粒。油漆应过滤或更换。
  (5)静电除尘器发生故障,或者在喷涂和固化环境中出现颗粒灰尘。应更换集尘器,并保持工作环境清洁
  6、靶磁控溅射仪膜的附着力差
  (1)镀层零件的脱脂和脱脂未完成。应加强镀前处理。
  (2)真空室不干净。应当清洁真空室。值得注意的是,在装卸靶材过程中,严禁用手或不洁物体接触磁控管源,以确保磁控管源具有较高的清洁度,这对于提高结合力非常重要。电影的措施之一。
  (3)夹具不干净。夹具应清洁。
  (4)底漆选择不当。应更换油漆。
  (5)溅射工艺条件控制不当。溅射工艺条件应改善。

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