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近距离蒸发镀膜 ( CSS)炉

简要描述:OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD,炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20?C/S 。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1?C。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-10-19
  • 访  问  量:1743

详细介绍

技术参数

真空腔体

  • 腔体为一高纯石英管
  • 尺寸:  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

真空法兰

  • 真空法兰材质为316不锈钢制作
  • 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
  • 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr,用分子泵其真空度可达到10-5 torr
  • 两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动
  • 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度

                          (点击图片查看详细资料)

混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用(本公司生产多路浮子和多路质子混气系统)
              
       

 

加热元件和载样台

  • 由两组IR红外灯管进行加热
  • 额定功率800 W     总功率:1600W 
  • 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上
  • 一个3"的基片载样台安装腔体顶部
  • 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片(3"Dia x0.5mm Thick ),使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀
  • 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 

       


热电偶

 

 

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

温控系统

  • 两个控温系统都为PID30段程序化控温
  • 可以选购PC控温软件,将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

                       

工作温度

  • 两个加热区域单独工作的zui高温度:      <= 650ºC
  • 两个加热区域zui大温差:  <= 350 ºC

加热和冷却速率

  • 加热速率:   > 8 ºC /S
  • 冷却速率:   > 10  ºC /S  ( 600 - 100oC)

电源

208 - 240VAC, 单相(需20A的空气开关)

可选配件

 

本公司出售真空泵和水冷系统

 

                   

质保期       

一年质保期  (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )

质量认证

  CE 

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