欢迎来到中美合资合肥科晶材料技术有限公司网站！
返回首页在线留言联系我们
咨询热线

18255163376

热门关键词：真空管式炉，高温箱式炉，高速震动球磨机，RTP快速退火炉，高温高压炉，涂覆机，电池制备设备等

当前位置：首页   >  产品中心  >  薄膜制备全套设备  >  蒸发镀膜设备  >  近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉

近距离蒸发镀膜 （ CSS）炉

简要描述：OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉，专门针对于用PVD或CSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11" OD，炉管内载样盘可放置3" 的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管，分别安装在腔体的顶端和底部，其升温速率高达20?C/S 。温控系统为PID30段程序化控制，控温精度为+/-1?C。仪器面板上带有RS485接口，若仪表内配有控温软件，就可将升温程序和曲线导出

  • 产品型号：
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2025-02-10
  • 访  问  量：2717
产品咨询联系我们

产品分类

相关文章

Related Articles

详细介绍

技术参数

真空腔体

  • 腔体为一高纯石英管
  • 尺寸：  11" OD x 10.8"ID x 9" H 

真空法兰

  • 真空法兰材质为316不锈钢制作
  • 顶部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的出气口
  • 底部法兰上有一KF25接口，可以与真空泵相连接，另外安装有两个1/4" 软管接头的进气口
  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封，通过机械泵其腔体内真空度可达10-2 torr，用分子泵其真空度可达到10-5 torr
  • 两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动
  • 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部，可精确测量腔体内真空度

                          （点击图片查看详细资料）

混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用（本公司生产多路浮子和多路质子混气系统）
                     

 

加热元件和载样台

  • 由两组IR红外灯管进行加热
  • 额定功率800 W     总功率：1600W 
  • 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果，加热元件被嵌在水冷机构上
  • 一个3"的基片载样台安装腔体顶部
  • 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀
  • 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料 

       


热电偶

 

 

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

温控系统

  • 两个控温系统都为PID30段程序化控温
  • 可以选购PC控温软件，将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

                       

工作温度

  • 两个加热区域单独工作的zui高温度：      <= 650ºC
  • 两个加热区域zui大温差:  <= 350 ºC

加热和冷却速率

  • 加热速率:   > 8 ºC /S
  • 冷却速率:   > 10  ºC /S  ( 600 - 100oC)

电源

208 - 240VAC, 单相, （需20A的空气开关）

可选配件

 

本公司出售真空泵和水冷系统

 

                   

质保期       

一年质保期  (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件 )

质量认证

  CE 

相关文献
  • Please read article: High efficiency  CSS CdTe Solar Cell
  • UCLA researchers improve process for manufacturing highly efficient solar cells
  • Planar Heterojunction Perovskite Solar Cells via Vapor-Assisted Solution Process
  • Sub 150 °C Processed Meso-superstructured Perovskite Solar Cells with Enhanced Efficiency 
  • Best_Research-Cell_Efficiencies

产品咨询

留言框

  • 产品：

  • 您的单位：

  • 您的姓名：

  • 联系电话：

  • 常用邮箱：

  • 省份：

  • 详细地址：

  • 补充说明：

  • 验证码：

    请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

网站首页　|　关于我们　|　产品中心　|　新闻动态　|　技术文章　|　在线留言　|　联系我们

联系我们

中美合资合肥科晶材料技术有限公司 公司地址：安徽省合肥市蜀山区科学院路10号   技术支持：化工仪器网
  • 联系人：朱沫浥
  • QQ：2880135211
  • 公司传真：86-551-65592689
  • 邮箱：zhumoyi@kjmti.com

扫一扫 更多精彩

微信二维码

网站二维码

© 2025 版权所有：中美合资合肥科晶材料技术有限公司   备案号：   sitemap.xml   管理登陆