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仪技术参数
结构 | (点击图片查看详细资料) |
输入电源 |
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溅射电源 |
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磁控溅射头 |
也可以根据自己的要求选择2个射频溅射头或3个射频溅射头,订购前需于本公司销售人员 |
真空腔体 |
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载样台 |
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气体流量控制器
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真空泵系统 | 配有一套分子泵系统(德国制作),采用一键式操作
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薄膜测厚仪 |
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外形尺寸 | L1300mm× W660mm× H1200mm |
重量 | 160 kg |
质保期 | 一年质保期,终生维护 |
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