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当前位置：首页   >  产品中心  >  薄膜制备全套设备  >  旋转涂层设备（匀胶机）  >  VTC-100PA（加热型）真空旋转涂膜机--VTC-100PA（加热型）

真空旋转涂膜机--VTC-100PA（加热型）

简要描述：VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

  • 产品型号：VTC-100PA（加热型）
  • 厂商性质：生产厂家
  • 更新时间：2024-02-22
  • 访  问  量：3508
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详细介绍

 VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

 

 技术参数

主要特点

  • 真空吸附方式固定样件，操作简便。
  • 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置，以减少偏心而造成的震动或飞片。
  • 根据样件规格可以配用不同的吸盘，且更换方便简单。
  • 设有12组程序，每组包含6个运行阶段。
  • 电机启动快速稳定，可以保证涂层厚度的*性和均匀性。
  • 50W/24V 直流电机
  • 适于在Ar气环境中工作（真空泵放置在手套箱外）

参数

  •  电机功率：50W/24V
  •  速度范围：500-10000rpm
  •  程序运行：可储存12组程序，每组程序包含6个运行阶段
  •  增减速率设置范围：100rpm/s-2000rpm/s
  •  时间范围：0-60s
  •  吸盘：Φ19mm、Φ60mm
进气口

上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体，实现在气氛环境下旋转涂覆

可选加热部分

    上盖内部增加红外灯管加热，采用K型热偶测温，数字温控器控温，zui高120℃，可使得样品涂覆后原位烘干，用于薄膜太阳能电池等研究。

             

产品规格

  • 尺寸：450mm×280mm×340mm；
  • 重量：20kg

标准配件

1

　真空吸盘（含O型圈）

2个

2

　中心定位器（含4个定位柱）

1个

3

　滴胶注射器（20ml）

1个

4

　注射器支架

1个

5

　无油真空泵

1台

6

　橡胶管（含卡箍）

1根

可选配件

　过滤器（真空泵用）

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