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VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。
技术参数
主要特点 |
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参数 |
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进气口 | 上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆 | ||
可选加热部分 | 上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,zui高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。
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产品规格 |
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标准配件 | 1 | 真空吸盘(含O型圈) | 2个 |
2 | 中心定位器(含4个定位柱) | 1个 | |
3 | 滴胶注射器(20ml) | 1个 | |
4 | 注射器支架 | 1个 | |
5 | 无油真空泵 | 1台 | |
6 | 橡胶管(含卡箍) | 1根 | |
可选配件 | 过滤器(真空泵用) |
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