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真空旋转涂膜机--VTC-100PA(加热型)

简要描述:VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

  • 产品型号:VTC-100PA(加热型)
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-22
  • 访  问  量:3457

详细介绍

 VTC-100PA真空旋转涂膜机适用于半导体、晶体、光盘、制版等表面涂覆工艺。本机可用于强酸、强碱性涂覆溶液的涂膜制备。

 

 技术参数

主要特点

  • 真空吸附方式固定样件,操作简便。
  • 使用定位工具可将样件很容易地放在中心位置,以减少偏心而造成的震动或飞片。
  • 根据样件规格可以配用不同的吸盘,且更换方便简单。
  • 设有12组程序,每组包含6个运行阶段。
  • 电机启动快速稳定,可以保证涂层厚度的*性和均匀性。
  • 50W/24V 直流电机
  • 适于在Ar气环境中工作(真空泵放置在手套箱外)

参数

  •  电机功率:50W/24V
  •  速度范围:500-10000rpm
  •  程序运行:可储存12组程序,每组程序包含6个运行阶段
  •  增减速率设置范围:100rpm/s-2000rpm/s
  •  时间范围:0-60s
  •  吸盘:Φ19mm、Φ60mm
进气口

上盖有一个直径6mm的进气口可将需要的气体通入腔体,实现在气氛环境下旋转涂覆

可选加热部

    上盖内部增加红外灯管加热,采用K型热偶测温,数字温控器控温,zui高120℃,可使得样品涂覆后原位烘干,用于薄膜太阳能电池等研究。

             

产品规格

  • 尺寸:450mm×280mm×340mm
  • 重量:20kg

标准配件

1

 真空吸盘(含O型圈)

2

2

 中心定位器(含4个定位柱)

1

3

 滴胶注射器(20ml

1

4

 注射器支架

1

5

 无油真空泵

1

6

 橡胶管(含卡箍)

1

可选配件

 过滤器(真空泵用)

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