真空管式炉充工作气体(氢气-惰性气体)方法
一、使用氢气作为工作气体时
1.接通氢气气路,对各接头处用肥皂水检漏,确认不漏气。
2.确认各阀门处于关闭状态。
3.逆时针旋转旋钮开氢气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢打开出口减压阀,使出口气压在0.1MPa。
4.接通机械泵电源,打开管式炉出口阀和机械泵气路上的两个阀门,抽5分钟。
5.关闭机械泵气路上的两个阀门,关闭管式炉出口阀门,关机械泵。
6.逆顺时针打开上气路控制阀,使箭头指向“开”位置。
7.逆顺时针调节流量计旋钮,使示数在20ml/min。
8.逆时针旋动旋钮,打开管式炉进气阀,直至气压表读数为零。9.打开管式炉进气阀,打开氢气气路上的红色出口阀门。
10.在通氢气满十分钟后,才能开始加热管式炉。加热前,逆时针调节流量计旋钮,使锥形瓶中气泡出现的速度为2个/秒钟。
二、使用惰性气体作为工作气体时:
1.接通工作气体气路,将管式炉气体出口端连接机械泵。2.打开管式炉进气阀,合上真空泵电源,打开出气阀(注意把住法兰,避免炉管受力过大),抽空刚玉管和气体管路。
3.当管式炉真空表到-0.1(指针到尽头时),关闭出气阀,关闭进气阀。
4.逆时针旋动旋钮开气瓶主阀,顺时针旋动旋钮,缓慢打开出口减压阀,使出口气压在0.004MPa(2小格)。5.逆时针旋动旋钮,缓慢打开管式炉进气阀;密切注意管式炉气压表,确认气压在0.08MPa以下(如气压高于0.08MPa,打开管式炉出气阀放气)。
6.管式炉气压表当气压稳定时,关闭管式炉进气阀,打开出气阀,抽真空到-0.1,关管式炉出气阀。
7.重复4、5步两次。
8.关机械泵,打开管式炉进气阀。