详细介绍
PDC-001是一款腔体尺寸较大的等离子清洗机,其等离子腔体尺寸为 6"dia x 6.5"。特别适合对有机物和基片表面进行清洗,同时可以向腔体通入不同的气体(如氧气和惰性气体等),从而产生不同气氛的等离子体以满足实验需要。在高射频工作状态下起表面脏物移出速率高达20nm/min.对于在薄膜生长前对基片进行预处理,此款设备极为理想。
技术参数
输入功率 | AC 110V , 50/60 Hz, < 200W |
输出频率 | 13.56 MHz |
功率 |
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等离子腔体 | 尺寸:6" dia x 6.5" l 石英腔体 |
真空泵和阀 |
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通入的气体 | 腔体中可以通入多种气体,如N2, Ar, Air ,也可以通入多种混合气体,以满足实验需要 ,不可以通入可燃性气体进入等离子腔体中 |
可选配件 |
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可选真空计 |
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外型尺寸 | 11" H x 18" W x 9" D |
细节图 |
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操作视频 | 等离子清洗机(点击查看) |
质保期 | 一年质保 ( 不包括石英腔体和密封圈) |
质量认证 | CE Certified |
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