小型等离子清洗机--PCE-6

简要描述：PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

产品型号：
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-02-22
访问量：2609

产品咨询联系我们

产品分类

等离子清洗机系列

查看全部产品

详细介绍

PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体，采用的射频电源功率3.0MHz（1%），输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物，同时也可改变物体表面的性质（如亲水和疏水性等），对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

技术参数

主要特点	通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。设有一个三通阀，可精确控制进气流量，以及大气流清洗腔体。选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。
参数	电源：AC220V 50/60Hz 输出功率：7.2W、10.2W、29.6W 真空泵功率：<500W 总功率：<600W 射频频率：3.0MHz，功率3档可手动调节等离子腔体：高纯石英腔体，Φ160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰上设有Φ45mm 的观察窗真空泵：24L/min，直连式双旋真空泵极限真空度：50mtorr 通入气体：可通入多种气体来产生等离子，如N2、Ar、H2、O2、Air和混合气体等（根据材料性质选定）
产品规格	尺寸：400mm×300mm×300mm 重量：10.2kg
可选配件	2″-6″石英舟（盛放基片） 2-4通道质子或浮子混气系统
质保期	一年质保期，终身维护