咨询热线

18255163376

当前位置:首页   >  产品中心  >  等离子清洗机系列  >    >  小型等离子清洗机--PCE-6

小型等离子清洗机--PCE-6

简要描述:PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz(1%),输出功率7.2W、10.2W、29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-06-16
  • 访  问  量:2738

相关文章

Related Articles

详细介绍

        PCE-6小型等离子清洗机的等离子腔体为 Φ160mm×190mm的石英腔体,采用的射频电源功率3.0MHz1%),输出功率7.2W10.2W29.6W三档可调。本机主要是通过空气、氧气或氩气等气体的等离子体来去除基片上的氧化层和污染物,同时也可改变物体表面的性质(如亲水和疏水性等),对于基片的清洗以及薄膜处理是较为理想的设备。

 

技术参数

主要特点

  • 通过控制面板的按键及开关,可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。
  • 时间、功率、真空度等信息显示在一组4位数码管上。
  • 设有一个三通阀,可精确控制进气流量,以及大气流清洗腔体。
  • 选用大功率色射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

参数

  • 电源:AC220V  50/60Hz
  • 输出功率:7.2W10.2W29.6W
  • 真空泵功率:<500W
  • 总功率:<600W 
  • 射频频率:3.0MHz,功率3档可手动调节
  • 等离子腔体:高纯石英腔体,Φ160mm×190mm,采用铝制折叠式法兰进行密封,法兰上设有Φ45mm 的观察窗
  • 真空泵:24L/min,直连式双旋真空泵
  • 极限真空度:50mtorr
  • 通入气体:可通入多种气体来产生等离子,如N2ArH2O2Air和混合气体等(根据材料性质选定)

产品规格

  • 尺寸:400mm×300mm×300mm
  • 重量:10.2kg

可选配件

  • 2″-6″石英舟(盛放基片)
  • 2-4通道质子或浮子混气系统

质保期

一年质保期,终身维护

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

联系我们

中美合资合肥科晶材料技术有限公司 公司地址:安徽省合肥市蜀山区科学院路10号   技术支持:化工仪器网
  • 联系人:朱沫浥
  • QQ:2880135211
  • 公司传真:86-551-65592689
  • 邮箱:zhumoyi@kjmti.com

扫一扫 更多精彩

微信二维码

网站二维码