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可自动扫描等离子表面处理仪--GSL1100XPJF-A

简要描述:GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的*性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-22
  • 访  问  量:1864

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详细介绍

     GSL-1100X-PJF-A是等离子枪和可控制的样品台结合在一起的产品,有自动控制的样品台,就可使等离子枪按设定程序对样品表面进行更均匀涂覆和处理,保证处理样品表面的*性和均匀性。此系统是由RF发生器、气体传输管、等离子枪头和X-Y移动的工作台(带有真空吸盘和控制盒)。此系统产生等离子束可在非真空和低温状态下活化和清洗样品表面,可处理的样品有单晶片,光学元件和塑料等,也可在常压下进行等离子增强气相沉积。

 

技术参数

输入电源

208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

RF发生器

  • 输出频率:20-23kHz , 25KV
  • 等离子枪头:仪器中包括两种等离子枪头:圆形头:10-12mm,矩形头:15-18mm

输入气体气压,工作气体

  • 40 PSI min.(0.055 Mpa)
  • Air, N2, Ar, He 或混合气体(不可通入易燃易爆气体 )

等离子体工作压力

7- 10 PSI

工作环境

温度 < 42°C,湿度 ≤ 40℃RH

样品台和控制柜

  • 配有可在X-Y轴移动的样品台,通过步进电机驱动,采用SBC控制盒控制
  • 可手动调节样品台在Z轴方向上的移动距离
  • 控制盒采用LCD显示,可设置其等离子枪头的扫描程序。
  • zui大扫描范围:8" x 9"
  • 一个直径为4"的真空吸盘安装在X-Y样品台上,可吸住直径为6"的样品。
  • 配有一真空泵,可与真空吸盘相连接
  • 整个系统安装在一移动架上(600x600x 800Lmm
  • 可选:可选加热样品台(zui高温度可加热到500℃),也可将设备放置在手套箱中操作。
      

尺寸&重量

  • 处理样品台尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
  • 等离子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
  • 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H
  • 重量:55kg
操作视频点击查看

质保&质量认证

一年质保期,终生维护

CE认证

 

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