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1200℃微型二通道混气CVD系统-OTF-1200X- S50- 2F

简要描述:OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃。左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1 °C 。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-07-21
  • 访  问  量:1901

详细介绍

  OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式炉,是一款通过CE认证的可开启式管式炉,能使样品加热到1200℃左法兰上安装一个数字式真空显示计,右法兰上安装有一KF-25接口,可以与机械泵相连接(抽速为226L/m)。同时左法兰上安装有φ6.35的卡套接头,使得炉体可与两路混气系统相连接。精确的控温系统提供30段升温和降温程序,其控温精确度为+/- 1 °C 


 技术参数

高温炉

壳体

  • 采用双层壳体
  • 炉膛采用多晶氧化铝纤维,zui大程度减小能量损失
  • 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

(点击图片查看详情)

功率        

1.75KW

电压

AC -220V 

温度

  • zui高工作温度:1200℃(< 1hr
  • 连续工作温度1100 
  • 升温速率 <= 10C/min

炉管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加热区

  • 加热区长度: 8" (200mm)
  • 恒温区长度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C

温控系统

  • PID30段程序化控温
  • 控温精度: +/- 1℃  
  • 控温仪表操作视频

加热元件

掺钼铁鉻铝(表面涂有氧化锆涂层,使其zui大程度延长使用寿命)

两路混气系统

  • 两个浮子流量计量程为16 100mL/min 
  • -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
  • 三个机械压力表:-0.1-0.15 MP
  • 混气箱上安装有一不锈钢针阀
  • 后端装有φ6.35卡套接头,无需通电
  • 外型尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").
  • 净重: 14 lbs.

                  

真空法兰和配件

结构 
                 
            左法兰           右法兰
标准真空配件:

  • 一个数字式真空显示计
  • 一个φ6.35的卡套接头
  • 两个KF25转接头
  • 一个600mm的不锈钢波纹管
可选   本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

真空泵

  • 规格2XZ-2双旋真空泵
  • 抽气速率:120 liter/m   
  • 功率:1/2HP  375W
  • 油箱容积: 1000ml

产品净重

100 lbs

产品尺寸

  • 炉体:340 x 300 x 400mm
  • 真空泵:440 x 160 x 300mm
  • 混气系统: 340 x 300 x 180mm

运输重量

200lbs

质保期

一年质保期(不包括炉管、硅胶O型圈和加热元件等损耗件)

质量认证

    CE certified

 

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