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1200℃单温区三通道混气CVD系统-OTF-1200X-80-I-F3LV

简要描述:OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-10-20
  • 访  问  量:2099

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详细介绍

  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通过CE认证的单温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,其真空度可达到 10-2 torr.

技术参数

高温炉壳体

  • 采用双层壳体结构,并带有风冷系统,使得壳体表面温度小于55
  • 内炉膛表面涂有1750℃进口氧化铝涂层材料提高反射率及炉膛洁净度

功率

2.5 KW

电压

AC 208-240V 单相, 50/60 Hz 

加热元件

掺钼铁鉻铝合金(表面涂有氧化锆涂层,使其zui大程度延长使用寿命)

zui高工作温度

1200

连续工作温度

1100

zui快升温速率

<= 20 

炉管材质和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加热区长度

400 mm

恒温区长度

150  (+/-1 )

控温系统

  • PID30段程序化控温  
  • 控温仪表操作视频

控温精度

+/- 1 

 

真空密封系统

 

 

 

(点击图片查看详细资料)

两个不锈钢密封法兰(上面已安装真空计和截止阀),zui大漏气率6 mtorr/min

真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的zui小微粒直径为0.3微米。

数字式真空显示计

 

  • 美国进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr
  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

混气系统

  • 三个浮子流量计(准确率4%FS)
  • 三路浮子量程分别为
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 内部安装有一混气罐 

尺寸

  • 炉体尺寸: 550 x 380 x 520mm
  • 混气系统尺寸: 600x600x597 mm

净重

60kg

运输重量

200

质保期

一年质保期(不包括炉管 、加热元件和密封圈的损耗件)

 CE Certificate  

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