当前位置:首页 > 产品中心 > > CVD、PECVD设备 > 双温区开启式真空管式炉 (管径80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F
                            
产品分类
详细介绍
  OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.
  技术参数
壳体结构  | 
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功率  | 2.5 KW  | 
电压  | AC 208-240V单相, 50/60 Hz  | 
加热元件  | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo  | 
zui高工作温度  | 1200 ℃  | 
连续工作温度  | 1100 ℃  | 
zui大升温速率  | <= 20 ℃ /min  | 
炉管尺寸和材质  | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm  | 
加热区长度  | 
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恒温区长度  | 150mm (+/-1oC)  | 
温度控制器 
 
 
 
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控温精度  | +/- 1oC  | 
真空密封系统 
 
 
 
 
 
 
 
 
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真空泵 
 
  | 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的zui小微粒直径为0.3微米。  | 
数字式真空表  | 
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混气系统 
 
 
 
 
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阀门  | 四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处  | 
尺寸  | 炉子: 550 x 380 x 520 移动架: 600x600x597  | 
净重  | 约60KG  | 
运输重量  | 600 lbs  | 
运输包装尺寸  | Two cases in one pallet: 45x45x35/case  | 
质保期  | 一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件  | 
质量认证  | 
 
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