当前位置:首页 > 产品中心 > > CVD、PECVD设备 > 双温区开启式真空管式炉 (管径80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F
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OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.
技术参数
壳体结构 |
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功率 | 2.5 KW |
电压 | AC 208-240V单相, 50/60 Hz |
加热元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo |
zui高工作温度 | 1200 ℃ |
连续工作温度 | 1100 ℃ |
zui大升温速率 | <= 20 ℃ /min |
炉管尺寸和材质 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加热区长度 |
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恒温区长度 | 150mm (+/-1oC) |
温度控制器
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控温精度 | +/- 1oC |
真空密封系统
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真空泵
| 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的zui小微粒直径为0.3微米。 |
数字式真空表 |
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混气系统
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阀门 | 四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处 |
尺寸 | 炉子: 550 x 380 x 520 移动架: 600x600x597 |
净重 | 约60KG |
运输重量 | 600 lbs |
运输包装尺寸 | Two cases in one pallet: 45x45x35/case |
质保期 | 一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件 |
质量认证 |
CE Certificate |
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