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双温区开启式真空管式炉 (管径80mm, 1200C Max) OTF-1200X-80-II-F

简要描述:OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-22
  • 访  问  量:4538

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详细介绍

  OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.

  技术参数

壳体结构

  • 双层壳体结构,并带有分冷,使得壳体表面的温度小于 55oC
  • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿

功率

 2.5 KW

电压

 AC 208-240V单相, 50/60 Hz

加热元件

 Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo

 zui高工作温度

 1200 ℃

 连续工作温度

 1100 ℃

zui大升温速率

 <= 20  ℃ /min

炉管尺寸和材质

 石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm

加热区长度

  • 两个加热区:  每个温区200 mm (8")  
  • 总加热区长度400 mm 

恒温区长度

  150mm  (+/-1oC)

温度控制器

 

 

 

 

  • 两个精密的温度控制器,单独的控制两个温区
  • PID方式控制,通过PWM固体继电器
  • 30 可编程智能温度调节仪,可设置30段升降温程序
  • 带有过热和断偶保护
  • 控温仪表操作视频

控温精度

 +/- 1oC

真空密封系统

 

 

 

 

 

 

 

 

  • 两个不锈钢密封法兰,法兰上有KF-25接口和法兰上已经安装真空计,阀门
  • 真空度:通过机械泵真空度可以达到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想获得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以达到10-5 torr.
  • 泄漏率< 5 m-torr/min.    
  • (法兰安装示意图)

真空泵

 

 采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的zui小微粒直径为0.3微米。

数字式真空表

  • 美国进口CVM-211数显真空计,已安装在不锈钢法兰上,测量范围为10-4Torr~1000Torr (采用皮拉尼式的方法)
  • 可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

混气系统

 

 

 

 

 

  • 3个浮子流量计(精确度4%FS)安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 
  • *路气体流量范围为10-100 cc/min.  
  • 第二路气体流量范围为16-160 cc/min.  
  • 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.
  •  一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ,来监测混合气体的压力    

阀门

四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处

尺寸

 炉子: 550 x 380 x 520 

移动架: 600x600x597

 净重

60KG 

运输重量

600 lbs 

运输包装尺寸

 Two cases in one pallet:  45x45x35/case

质保期

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件

质量认证

 

CE Certificate

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