1200°C二通道混气高真空CVD系统-OTF-1200X-HVC

OTF-1200X系列 管式炉

壳体结构

• 采用双层壳体结构，并带有风冷.使得壳体表面的温度小于60度
• 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率，同时也可以延长仪器的使用寿命

炉管

• 材质: 高纯石英管
• 石英管包含在内.
• 可以选择其他管径

功率

2.5KW

工作电压

AC 208-240V 单相, 50/60Hz

加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo，（电阻丝表面涂有氧化锆涂层，zui大程度的延长加热元件的使用寿命）

工作温度

• zui高工作温度.: 1200°C
• 连续工作温度: 1100°C

加热速率

加热速率: 1~20°C/min 可编程

加热区长度

• 总加热区长度: 440mm
• 恒温区长度. : 150mm (±1°C)

控温系统

• PID自动控制方式，可设置30段升降温程序
•  控温仪表操作视频
• 控温精度: ±1°C           
• 热电偶: K 型已经安装在炉内

真空密封

• 一对不锈钢真空密封法兰，已经安装
• 法兰上已经安装机械压力表
• 一对精密针阀
• KF-40 的抽气接口

功率

100~110W

工作电压

AC 208-240V , 50/60Hz

高真空机组

壳体

• 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
• zui大承载量:       600 Lbs on topf:  
• 分子泵显示屏： LCD 数字显示
• 内装有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:   

抽气速率

• N2     33 L/s
• He     39 L/s   (2340L/minute)
• H2   32 L/s

工作范围

 1000 mbar to <1E-7 mbar 

极限

<1E-8 mbar (无泄漏) 

质量流量控制器

壳体

• 采用 316不锈钢制作
• 混气箱尺寸: Φ80X120mm  
• 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm

功率

18W 

工作电源

AC 208-240V, Single phase, 50/60Hz

质保期

一年质保期，相关耗材除外，如炉管密封圈加热元件等易耗件

质量认证

  CE Certificate