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1700°C二通道混气高真空CVD系统-GSL-1700X-4-HVC

简要描述:GSL-1700X-4-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,其炉管直径为4英寸,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成,其Z高工作温度可达1600℃,极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2023-10-20
  • 访  问  量:3478

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详细介绍

     GSL-1700X-4-HVC是一款CE认证的二通道高真空CVD系统,其炉管直径为4英寸,它是由二路质子混气系统和高真空机组组成其zui高工作温度可达1600极限真空度可达 to 10^-5 torr。混气系统可以对两种气体进行精确的混气,然后导入到管式炉内部。

技术参数

GSL-1700X 系列管式炉

壳体

  • 采用双层壳体结构,并带有风冷,使得壳体表面的温度 < 55°C.
  • 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
  • 保温材料采用高纯氧化铝纤维,环保节能,减少热量的损失
  • 真空泵和气体混合系统位于移动架上,方便移动.
  • 仪器上已经安装高真空法兰,阀门,高真空机组

炉管

  • 材质高纯氧化铝陶瓷管
  • 一根高纯氧化铝陶瓷管已经安装在炉子上
  • 4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L  (99.8%)

功率

 

6KW

工作电压

 

AC 208-240V单相, 50/60Hz

加热元件

 

1800°C grade MoSi2 heating element

工作温度

  • zui高工作温度.: 1650°C
  • 连续工作温度.: 1600°C

升温速率

 

 <=5°C/min

加热区长度

  • 加热区长度: 457 mm (18")
  • 恒温区长度: 150 mm (6")(+/-1°C)

温控系统

  • 采用PID方式自动控制,并可设置30段升降温程序
  • 控温精度: ±1°C                   
  • 控温仪表操作视频
  • 热电偶: B 型,已经安装在炉内

真空法兰

  • 一对不锈钢真空密封法兰已经安装
  • 法兰上带有一机械压力表
  • 两个精密针阀
  • 一个KF-25连接器 KF-25  KF-40 抽气接口
  • 一个1/4"卡套接头

外形尺寸

 

550 x 380 x 520mm

高真空机组

功率

 

100~110W

工作电压

 

AC 208-240V单相, 50/60Hz

外形尺寸

 

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

壳体

  • 壳体尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • zui大承载量:       600 Lbs on top
  • 分子泵控制面板:   LCD 数字显示
  • 内装有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

控制面板

  • 一键操作:按下"start" 键后,隔膜泵和涡轮分子泵将会启动(隔膜泵先启动等真空度达到10-2mbar后,分子泵自动启动) 
  • 系统控制旋转速率:根据腔体内的真空度,系统自动控制旋片泵的旋转速率

抽气速率

  • N2     33 L/s
  •  He     39 L/s   (2340L/minute)
  • H2   32 L/s

工作范围

 

1000 mbar to <1E-7 mbar

极限

 

<1E-8 mbar (without any leaking )

质量流量控制器

壳体

  • 采用 316不锈钢制作
  • 混气箱尺寸: Φ80X120mm  
  • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
  • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根据客户要求定制

功率

 

18W

工作电压

 

AC 208-240V, 单相, 50/60Hz

质保期

 

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈,等易耗件

质量认证

CE Certificateed

  Operation Manual


 

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