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简要描述:SOI薄膜(Si+SiO2+Si)
产品分类
晶体产品
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详细介绍
产品名称:
SOI基片(Si+SiO2+Si)
常规尺寸:
dia4" 镀膜层:20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped
技术参数:
国产SOI:膜层厚度可以按照客户需求加工
①顶层2um±0.5(5点), BOX层2um±0.1 , P型,总厚度大约621um, 平整度LTV < 1um
②顶层3um±0.5(5点), BOX层2um±0.1,P型,总厚度大约622um, 平整度LTV < 1um
电阻率Ω.cm:15-25 ohm.cm;
进口SOI:
点击查看:http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx
SOI
φ6″100>/<110>镀2umSiO2层镀2umSi层-1sp
φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀0.2umSi层-1sp
φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp
φ6″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp
φ6″-<100>镀0.375umSiO2层镀0.1umSi层-1sp
φ6″-<100>镀3umSiO2层镀220nmSi层-1sp
备注:
1000级超净室100级超净袋单片盒或25片插盒封装
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