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SOI薄膜(Si+SiO2+Si)

简要描述:SOI薄膜(Si+SiO2+Si)

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-22
  • 访  问  量:1425

详细介绍

产品名称:

SOI基片(Si+SiO2+Si)

常规尺寸

dia4" 镀膜层:20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped


技术参数:

国产SOI:膜层厚度可以按照客户需求加工

①顶层2um±0.5(5点), BOX层2um±0.1 ,  P型,总厚度大约621um, 平整度LTV < 1um

②顶层3um±0.5(5点), BOX层2um±0.1,P型,总厚度大约622um, 平整度LTV < 1um

电阻率Ω.cm:15-25 ohm.cm

进口SOI:

点击查看:http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx


常规尺寸:

SOI

φ6″100>/<110>镀2umSiO2层镀2umSi层-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀0.2umSi层-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp

SOI

φ6″<100>/<110>镀0.375umSiO2层镀1umSi层-1sp

SOI

φ6″-<100>镀0.375umSiO2层镀0.1umSi层-1sp

SOI

φ6″-<100>镀3umSiO2层镀220nmSi层-1sp


备注:

1000级超净室100级超净袋单片盒或25片插盒封装

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