4路质子混气管式PECVD系统

产品特点

• 虽环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解，离解和离化，从而大大提高了反应物的活性。因此，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜。

• 科晶公司提供定制的薄膜材料的实验室质量可靠、价格合理的紧凑型PECVD系统。

• 下图显示的是PECVD法用500W交流等离子体与OTF1200X50、7通道精密质量流量计和高真空系统气体组成

开启式管式炉

• 工作温度：1200℃

• 炉管尺寸：Φ50，Φ60，Φ80都可用

• 温度控制器：30段高精度数字可编程温度控制器

• 加热区长度：440mm

• 恒温区长度：150mm

• 功率：AC 220V 4KW

等离子射频电源                        

• 输出功率：50-500Wzui大可调±1%

• RF频率： 13.56MHz的±0.005%稳定可调

• 噪声：≤55DB

• 冷却：风冷

• 输入功率：1KW  AC 220V

真空泵和阀门                          

• 采用KF25系列波纹管和精密针阀连接

• 真空度可达10-3torr

• 数字真空压力表可直观的显示数值

• 可选：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

质量流量计

• 内部装有高精度数字显示质量流量计可准确的控制气体流量

• 气体流量范围为0-200 误差为0.02%

• 一个气体混气罐的底部安装了液体释放阀

• 不锈钢针阀安装在左侧可手动控制混合气体输入

• 进气口：采用标准双卡套接头

4路质子混气管式PECVD系统细节图展示

外形尺寸

• 炉体：550*380*520mm

• 供气及真空系统：600*600*597mm

• 净重：120KG

质保期

一年质保期相关耗材除外，如加热元件，密封圈等易耗件

质量认证

  CE认证

国家

名称：可组合式等离子增强化学气相沉积装置

编号：ZL-2011-2-0355777.1

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