高真空蒸发镀膜仪可提供大100A镀膜电流，大蒸发温度高达1800℃，可满足各种普通金属和部分非金属的蒸发。真空室采用高纯石英，易于观察镀膜过程，易清洗；结合分子泵组，可达到5x10-4pa的极限真空度，有效保证气相沉积膜的纯度和附着力。
全自动程序控制，彩色触摸屏界面，操作简单，可镀金（AU）、铂（PT）等非氧化性贵金属，也可镀铱（IR）、铬（CR）、铝(AL)等细小颗粒易氧化膜材料。特别适用于场发射电镜、透射电镜样品制备和非晶碳包覆膜/TEM网格支撑膜的制作，也可为薄膜应用等材料领域提供理想的镀膜平台。那么它需要怎样的维护和保养？
1、高真空蒸发镀膜仪每完成200道以上的镀膜工序，应清洗一次工作间。方法是用饱和烧碱（NaOH）溶液反复擦洗真空室壁（注意人体皮肤不能直接接触烧碱溶液，以免烫伤）。目的是使涂膜材料铝（AL）与NaOH反应，反应后膜层脱落，释放氢气。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布擦净精抽阀内的污垢。
2、粗抽泵（滑阀泵和旋片泵）连续工作一个月（雨季一半）时，需要更换新油。方法是：拧下开油螺栓，排尽旧油，然后启动泵数秒，使泵内的旧油*排出。拧上回油螺栓，将新油加至规定量（用油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应打开油盖，用布擦净箱内脏物。
3、高真空蒸发镀膜仪扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显慢或操作不当。充入大气，拆下连接水管，拆下电炉板，拧出喷嘴，用汽油清洗泵腔和泵囊，然后用洗衣粉和水清洗，再用水*清洗。待水挥发后，装上泵胆，加新的扩散泵油，装回机体，接好水管，装上电炉板，即可重新启动。重启前注意漏电检测。方法是：启动维护泵，关闭闸门，几分钟后观察扩散泵的真空度是否达到6x10pa，或进行泄漏检测。检查接头处是否安装密封胶圈或密封圈是否损坏。排除潜在的漏气后才能进行加热，否则扩散泵油会烧坏环而不能进入工作状态。
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