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高真空蒸发镀膜仪需要怎样的维护和保养?

更新时间:2022-08-12      点击次数:783
  高真空蒸发镀膜仪可提供大100A镀膜电流,大蒸发温度高达1800℃,可满足各种普通金属和部分非金属的蒸发。真空室采用高纯石英,易于观察镀膜过程,易清洗;结合分子泵组,可达到5x10-4pa的极限真空度,有效保证气相沉积膜的纯度和附着力。
  
  全自动程序控制,彩色触摸屏界面,操作简单,可镀金(AU)、铂(PT)等非氧化性贵金属,也可镀铱(IR)、铬(CR)、铝(AL)等细小颗粒易氧化膜材料。特别适用于场发射电镜、透射电镜样品制备和非晶碳包覆膜/TEM网格支撑膜的制作,也可为薄膜应用等材料领域提供理想的镀膜平台。那么它需要怎样的维护和保养?
  
  1、高真空蒸发镀膜仪每完成200道以上的镀膜工序,应清洗一次工作间。方法是用饱和烧碱(NaOH)溶液反复擦洗真空室壁(注意人体皮肤不能直接接触烧碱溶液,以免烫伤)。目的是使涂膜材料铝(AL)与NaOH反应,反应后膜层脱落,释放氢气。然后用清水清洗真空室,用蘸有汽油的布擦净精抽阀内的污垢。
  
  2、粗抽泵(滑阀泵和旋片泵)连续工作一个月(雨季一半)时,需要更换新油。方法是:拧下开油螺栓,排尽旧油,然后启动泵数秒,使泵内的旧油*排出。拧上回油螺栓,将新油加至规定量(用油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应打开油盖,用布擦净箱内脏物。
  
  3、高真空蒸发镀膜仪扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显慢或操作不当。充入大气,拆下连接水管,拆下电炉板,拧出喷嘴,用汽油清洗泵腔和泵囊,然后用洗衣粉和水清洗,再用水*清洗。待水挥发后,装上泵胆,加新的扩散泵油,装回机体,接好水管,装上电炉板,即可重新启动。重启前注意漏电检测。方法是:启动维护泵,关闭闸门,几分钟后观察扩散泵的真空度是否达到6x10pa,或进行泄漏检测。检查接头处是否安装密封胶圈或密封圈是否损坏。排除潜在的漏气后才能进行加热,否则扩散泵油会烧坏环而不能进入工作状态。

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