加热型紫外臭氧清洗机

简要描述：PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM &TEM，紫外对聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧

产品型号：PCE-22
厂商性质：生产厂家
更新时间：2024-02-22
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详细介绍

PCE-22是一款可加热型的紫外臭氧清洗机，其加热温度可达150℃。此款设备可用于清洗各种基片，为制作高质量的薄膜打好基础。特别适合移除光刻胶，改善表面润湿性，清洗SEM &TEM，紫外对聚合物改性等。
紫外臭氧清洗提供了一种无酸、干燥对材料无损伤的原子级别的清洗手段，特别适合清除一些有机化合物。紫外灯主要发出两种波长的光：185nm和254nm。其中185nm的光可把空气中的氧气变为臭氧，254nm可以破坏化合物中的键（特别是碳碳键）。所以这两种波长的光组合可有效地清除有机化合物。

技术参数

电源	AC 208~240V，单相 50/60Hz
紫外灯	可发出双波长的水银灯功率：55W 发出光的波长：254 nm 和 185 nm 使用寿命：2500 小时（可在本公司购买紫外灯来更换）照射区域：200 x 200 mm
腔体&样品台	不锈钢壳体抽屉式样品台，以便放样取样样品台面积310 mm x 320 mm 臭氧通风装置安装在腔体上样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调）样品台可以加热，zui高温度可达150℃ 可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃ 设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时
排气口	直径为80mm的排气口安装在仪器后端请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外仪器中不包含橡胶管
外形尺寸	510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
净重	28kg
质保期	一年质保期，终生维护（不包含紫外灯）
应用	去除分子级别的污染物紫外光固化粘合剂紫外光催化氧化PDMS 表面消毒刻蚀清洗MEMS 器件清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

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