5英寸旋转CVD管式炉

炉体结构

• 采用双层壳体结构，并带有风冷系统
• 采用高纯氧化铝作为炉膛材料，可以zui大程度减小能量损失
• 直流电机带动石英管转动，其转速为0 - 10 RPM
• 炉体可倾斜角度为30°
• 炉体设计为开启式，以便于操作和对样品进行快速冷却

加热区

• 三个温区总长度：600mm
• 温区 1: 150 mm  ( 6")
• 温区 2: 300mm  ( 12")
• 温区3: 150 mm ( 6")
• 恒温区为：450mm@+/-2℃（三个温区设置同样的温度）

• 仪器中包含一根石英管
• 尺寸：130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm （两端直径 )
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• 仪器中包含一套不锈钢真空法兰（上面已经安装了不锈钢针阀）

接头

• 进气端接口：Φ6.35的卡套接口
• 出气端接头：Φ12的宝塔嘴接头

工作温度

• 连续使用温度：1100℃
• zui高工作温度：1200℃< 1 h

温控系统

• 三个温区采用三个温控系统独立控制，都是采用PID方式调节，可以设置30段升降温程序
• 炉体上安装有RS485接口，可选购控温模块，采用电脑控制炉体升温

热电偶

• 三根 Omega K 型铠装热电偶
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真空泵和冷井

• 配有一双极旋片真空泵，上面安装有油雾过滤器
• 可以选购冷井，防止实验中的沉积物损害真空泵
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供气系统

• 4通道精密气体控制系统，采用质量流量计，触摸屏控制，可同时通入1-4种不同气体
• 注意：如果通入的是易燃易爆型气体，必须将设备安装在通风柜中
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zui大功率

4KW

电压

208 - 240V单相(需要30 A 的空气开关）

质保

一年质保期，终生维护（不含炉管，密封圈和加热元件）

质量认证

• CE认证
• 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
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净重

130kg

应用注意事项

• 此套设备可以配合本公司连续送料装置来达到连续进料的效果
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警告

• 炉管内气压不可高于0.02MPa
• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
• 石英管的长时间使用温度＜1100℃
• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）