当前位置:首页 > 产品中心 > CVD、PECVD设备 > CVD管式炉 > OTF-1200X-5L-R-CVD5英寸旋转CVD管式炉
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OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋转CVD炉。炉体有3个加热区,可提高温度均匀性,同时配有4通道的精密混气系统。此款管式炉设计主要用于电池粉体材料表面包覆或其他粉体材料表面修饰。设备相关论文(点击查看)
技术参数
炉体结构 |
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加热区 |
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接头 |
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工作温度 |
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温控系统 |
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热电偶 |
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真空泵和冷井 |
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供气系统 |
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zui大功率 | 4KW |
电压 | 208 - 240V单相(需要30 A 的空气开关) |
质保 | 一年质保期,终生维护(不含炉管,密封圈和加热元件) |
质量认证 |
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净重 | 130kg |
应用注意事项 |
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警告 |
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