OTF-1200X-S-DVD是一款靠磁铁推动坩埚移动的管式炉。其炉管直径为50mm,zui高工作温度为1200℃。本公司设计此款管式炉主要是为了在各种气氛环境下用蒸发性沉积方法(DVD)来制取2维薄膜,或对材料进行快速热处理。
技术参数
特点 | - 采用高热传导率的AlN陶瓷片作为样品台,一根K型热电偶的探头直接与AlN陶瓷片的底部相接触。可通过磁铁推动热电偶和AlN陶瓷片在 密闭的石英管内移动
- 一款通过NIST认证的精密测温仪表与热电偶相连接,实时检测样品的温度。
- 一个磁铁嵌在氧化铝管堵内,另一个磁铁位于石英管外部,通过移动石英管外的磁铁,可移动石英管内的热电偶和样品台移动。
- 炉体可设置30段升降温程序,zui高工作温度为1200℃
- 仪器包括一石英舟,实验时可放置蒸发原料或基片。
(点击图片查看详细资料)
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功率 | - 208 - 240 VAC, 50/60Hz
- 1.5KW
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zui高工作温度 | 1200℃ |
连续工作温度 | 1100℃ |
zui大升温速率 | 20℃/min |
加热区 | - 加热区长度:200mm
- 恒温区长度:60mm(+/-1°C)
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温度控制部分 | - 采用PID方式来调节温度,控温仪表上可设置30段升降温程序
- 控制器上设置有超温和短偶保护
- 可选:客户可选购MTS02-B控制模块和PC,来用电脑设置温度程序和导出温度曲线
- 控温仪表操作视频
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控温精度 | +/- 1°C |
加热元件 | 掺钼铁铬铝合金(表面涂有进口氧化锆涂层,可极大地延长加热元件使用寿命) |
炉管尺寸 | - 尺寸:50mm O.D x 44mm I.D x 800mm L
- 配有4个氧化铝管堵,实验时需在炉管两端放入管堵,以保证法兰的密封性
- 配有一个石英舟,用于盛放蒸发原料或基片
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真空法兰 | 配有一对不锈钢真空法兰,上面已安装了不锈钢截止阀和机械压力表
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真空度 | 10-2Torr(用机械泵) |
可选 | - 可选购手动挡板阀与真空泵相连接
- 可选购快速连接法兰,数显真空计
- 针对于CVD和DVD实验,可选购多路供气系统
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尺寸 | - 炉体闭合时的尺寸:1055mm(L) × 300mm(W) × 400mm(H)
- 炉体开启时的尺寸:1055mm(L) × 300mm(W) × 560mm(H)
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重量 | 22kg |
质保 | 一年质保期,终生维护(不包含炉管和密封圈) |
操作视频 | 点击查看 |
质量认证 | - CE认证
- 所有电器元件(>24V)都通过了UL/MET/CSA认证
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使用注意事项 | - 使用时,石英管内的气压不可大于0.12Mpa
- 石英管内处于真空状态是,使用温度不可高于1000℃
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