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双管滑动快速加热冷却炉--OTF-1200X-4-C4LVS

简要描述:OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-21
  • 访  问  量:1928

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详细介绍

   OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究,通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。

 

特点:   

1.双石英管:外管直径100mm ,悬挂的内管直径 80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。
2.双管的真空密封法兰:允许反应气体通过两管之间(10mm间隙)发生反应,冷却气体直接通入内管.
3.四通道质量流量计控制4路气体。
4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。

5.炉子底部装有滑轨:炉子可以从一端滑向另一端,从而实现快速升温和降温.

技术参数

炉体结构
  • 高纯 Al2O3保温材料,保证了炉膛有*的温度均匀性.
  • 内炉膛表面涂有美国进口的1750度高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命
  • 炉子底部的冷却风扇保证了热量正常对外释放.
  • 密封法兰系统全不锈钢制作。
电源电源:208-240VAC,  50/60Hz, 单相,  2.5KW ( 20A 保险丝)
加热温度
  • zui高温度: 1100°C
  • 连续温度: 1000°C
加热区
  • 加热区长度: 440mm
  • 恒温区长度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
  • 选择:   
  • 双温区炉可获得t 240mm 的恒温区

 

加热和冷却速度zui快的加热和冷却速度跟工作温度有关,  请点击下图看出zui快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。
( 在使用炉子之前,要校准工作温度和加热、冷却速度 )

 
click to enlarge
加热冷却
石英管外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
内管:        OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
真空法兰
  • 一对 SS304不锈钢法兰,通过用两个高温“O”型圈紧密密封可获得高真空。
  • 炉子底部装有一对滑轨
  • 炉子可以手动从一端滑向另一端,实现快速的加热和冷却。
  • 为了得到较快的加热速度,可以先将炉子预热,然后滑到放置样品的位置。
  • 为了获得较快的冷却的速度,把炉子滑向另一端,同时将冷却气体通入 样品所在的位置。
左法兰(点击放大)右法兰 (点击方大)
    
极限真空度: 10^-2 torr (机械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)
可选本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。(点击图片查看详细介绍)
温控仪温控仪:带超温保护和PID调节的 30 段程序控制。 控温仪表操作视频
控温精度: +/-1°C
混气系统4路精密质子流量计:数字显示、气体流量自动控制.
  • MFC 1范围:  0~100 sccm
  • MFC 2范围:  0~200 sccm
  • MFC 3范围:  0~200 sccm
  • MFC 4范围:  0~500 sccm
  • 气路: 4 路
     
  • 流量精度: 0.2%
     
  • 进气和出气接口: 1/4" 卡套
     
  • 一个混气罐.
     
  • 每路气路都有一个独立的不锈钢针阀控制。  
     
  • 通过控制面板上的旋钮来调节气体流量. 请看下图
     
  • MFC 面板(点击放大)
真空泵
  • 安装在移动架底部的机械泵,真空度达 10-3 Torr. 
  • 真空泵与手动挡板阀之间用KF25 快接与不锈钢波纹管连接 . 
  • 数字真空表安装在一端的法兰上.

    选择: 
    可以配分子泵,真空度达 10-5 Torr     
作为基片用的25um厚的铜箔 
(选配)
生长石墨烯的铜箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸(mm)炉体: 550 x 380 x 520
移动架: 600x600x597
净重300 lb
保修期一年质保期 (耗材:如炉管,“O”型圈,和加热元件等不在保修范围内)
认证  CE 认证
 
国家

名称:一种快速高温退火炉

编号:ZL-2011-2-0077168.4

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究。

快速加热冷却的双管CVD炉--操作视频

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