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详细介绍
OTF-1200X-4-C4LVS 双管炉是 一个特殊的双管CVD系统,是专门为在金属箔上生长薄膜而设计,特别是应用在新一代能源关于柔性金属箔电极方面的研究，通过滑动炉子实现快速加热和冷却。请点击下图观看炉子的工作原理。
特点:
1.双石英管：外管直径100mm ，悬挂的内管直径 80. 金属箔缠绕在内管的外表面上发生CVD反应。
2.双管的真空密封法兰：允许反应气体通过两管之间（10mm间隙）发生反应，冷却气体直接通入内管.
3.四通道质量流量计控制4路气体。
4.配有KF25快接和波纹管的高速机械泵。
5.炉子底部装有滑轨：炉子可以从一端滑向另一端，从而实现快速升温和降温.
技术参数
| 炉体结构 |
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| 电源 | 电源:208-240VAC, 50/60Hz, 单相, 2.5KW ( 20A 保险丝) | ||||||||
| 加热温度 |
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| 加热区 |
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| 加热和冷却速度 | zui快的加热和冷却速度跟工作温度有关， 请点击下图看出zui快的加热和冷却速度随温度的变化而变化。 ( 在使用炉子之前，要校准工作温度和加热、冷却速度 )
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| 石英管 | 外管: OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length (OD100 x ID 96 x 1400, mm ) 内管: OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length (OD80 x ID 75 x 1800 mm ) | ||||||||
| 真空法兰 |
极限真空度: 10^-2 torr (机械泵) 10^-5 torr (分子泵) | ||||||||
| 可选 | 本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。（点击图片查看详细介绍） | ||||||||
| 温控仪 | 温控仪:带超温保护和PID调节的 30 段程序控制。 控温仪表操作视频 控温精度: +/-1°C | ||||||||
| 混气系统 | 4路精密质子流量计：数字显示、气体流量自动控制.
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| 真空泵 |
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| 作为基片用的25um厚的铜箔 (选配） | 生长石墨烯的铜箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness) | ||||||||
| 尺寸（mm) | 炉体: 550 x 380 x 520 移动架: 600x600x597 | ||||||||
| 净重 | 300 lb | ||||||||
| 保修期 | 一年质保期 (耗材：如炉管，“O”型圈，和加热元件等不在保修范围内） | ||||||||
| 认证 |  CE 认证 | ||||||||
| 国家 | 名称：一种快速高温退火炉 编号：ZL-2011-2-0077168.4 尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究。 | ||||||||
| 快速加热冷却的双管CVD炉--操作视频 |  | ||||||||
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