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小型蒸镀仪能够理想地再现结果

更新时间:2021-08-20      点击次数:606
  小型蒸镀仪生产用于SEM和TEM分析的均质导电金属或碳涂层。配置为溅射镀膜机或碳丝蒸发镀膜机后,可在全自动系统中获得可重复的结果,具有喷金仪、喷碳仪和蒸发仪三大功能。石英晶体测量、行星自转、辉光放电和可更换屏蔽等多种选择共同构成了这台低真空镀膜机。
  小型蒸镀仪是一款小型台式溅射功率可控磁控溅射仪。仪器虽小,功能齐全,但具有电压电流反馈、样品台旋转、样品高度调节、电动挡板等功能。通过定期调整预溅射和薄膜沉积的功率,大多数金属可以均匀地物理沉积。真空室由透明石英玻璃制成,以减少样品污染。可旋转样品台,获得更均匀的薄膜,可制备各种金属薄膜。.配备直联双回转机械泵(配备滤油器和防回油装置),可使真空室真空度达到10-2torr。配备KF25波纹管和夹子,可以镀碳。
  1、理想的再现结果
  运行自动化过程并辅助参数设置。
  2、小巧紧凑
  设计紧凑,占地面积小,节省实验室空间。
  3、易于清洁
  配有可拆卸门、卷帘、内屏蔽、光源、舞台。
  4、操作简单
  直观的触摸屏和一键式操作。
  小型蒸镀仪对于对氧气较敏感的材料的气相沉积,建议使用涡流分子泵。为了达到更高的无氧环境,真空室必须用高纯惰性气体清洗至少3次。
 

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