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小型蒸镀仪工作包括以下基本过程

更新时间:2021-09-23      点击次数:696
  小型蒸镀仪的真空蒸发镀膜法是在真空条件下加热蒸发容器中的待蒸发材料,使其原子或分子气化并从表面逸出,形成蒸汽流,进入社会到基材的方法,或基材表面,并凝结成固体薄膜,特别适用于一些轻金属的蒸发。同时也可以对样品进行镀碳。可加工样品直径为50mm,可提供100A镀膜电流,蒸发温度可达1800℃,可满足各种普通金属和部分非金属的蒸发。真空室采用高纯度石英,具有镀膜过程易观察、易清洗等优点;结合分子泵组,可达到5x10-4pa的极限真空,可有效保证蒸镀膜的纯度和附着力。
  小型蒸镀仪将待镀膜的基材或工件置于真空室中,通过加热使镀层材料蒸发汽化,并与基材或工件表面沉积,形成薄膜或涂层。配备高级质飞跃真空泵。
  小型蒸发仪包括以下基本流程:
  (1)加热蒸发过程:包括由凝相转变为气相的过程。每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。
  (2)气态原子或分子在蒸发源与基板之间的传输,即原子或分子在环境大气中的飞行过程。
  (3)蒸发是原子或分子在基材表面的沉积。即蒸发、冷凝、成核、核生长,形成连续的膜。由于基板温度远低于蒸发源温度,气态分子将在基板表面发生从气态到固态的直接相变。
  1、将需要溅射的基板材料放入蒸发仪的腔体中。
  2、根据被蒸发物料选择金属蒸发头/钨篮或碳蒸发头,按照仪器操作规程的簧片步骤安装被蒸发物料。使用碳棒蒸发头时,一根电极线接仪器后面的黑洞,另一根电极线接红孔;使用金属蒸发头时,一根电极线连接仪器后面的黑洞,另一根电极线连接绿色孔。
  3、按小型蒸镀仪操作规程逐步操作仪器,实验结束时取出样品。由于长期使用会在腔体周围沉积一层厚厚的涂层,请根据实际情况及时清洁腔体。但橡胶圈不能用丙酮、乙醇等有机试剂清洗,以免老化造成漏气,关闭主机电源和电源。切断仪器的主电源,盖上仪器。

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