1200℃ 4英寸双温区回转CVD管式炉

炉体结构

• 双层炉体结构，并带有风冷系统
• 高纯氧化铝纤维作为炉膛材料，并且表面涂有氧化铝涂层
• 采用直流电机带动炉管转动，其转速：0 - 10 RPM
• 炉体可倾斜，zui大倾斜角度为30°
• 炉体开启式设计，可以达到快速冷却和便于更换炉管

自动送料器

• 炉体上安装有自动送料器，带有密封结构，可在惰性气体保护环境下，将粉料送入到炉管内
• 送料速率可以通过电位计调节，zui大送料速率为：97cm^3/min
• 一个不锈钢收料罐（容积为1L），安装在出料端，可以在气氛保护环境下收集处理好的物料
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加热区长度

• 2个加热区，每个加热区长度为200mm,总加热区长度为400mm
• 恒温区长度：200 mm（+/- 1℃，两个温区设置同样的温度）

炉管&密封法兰

• 石英炉管尺寸:  100 mm O.Dx 1200 mm L （异型管）
• 两端直径为60mm) 

• Four Mixing Blades	Dimension

• 炉管中焊有杨料板，可以更好的使材料混合
• 仪器中包含一对不锈钢密封法兰（法兰上安装有不锈钢针阀和旋转接头）

工作温度

• zui高工作温度：1200℃（＜1小时）
• 连续工作温度：1100℃

温控系统&热电偶

• 两个温区有两个独立的温控系统控制，都可设置30段升降温程序
• 采用Omega K型热偶

炉管转动速度

0 - 10 RPM（可调）

倾斜角度

 左: 0~30°： 右: 0~15°

极限真空度

4.5x10^-2 torr（采用机械泵）

功率

• 回转炉：4KW
• 送料器：200W

电压

AC208 - 240V 单相 (需要30 A的空气开关)

质保期

一年质保期，终生维护（不包含炉管，密封圈和加热元件）

质量认证

• CE认证
• 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证
       

仪器尺寸

• 炉体: 1300mm × 600mm × 1200mm 
• 送料器: 220mm × 220mm × 202mm 

净重

125kg

应用

• 可配合本公司的供气系统，采用CVD方法对粉体材料进行包覆和表面修饰
• 可选购大容量的自动送料器
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警告

• 炉管内气压不可高于0.02MPa
• 由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
• 当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态
• 进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
• 石英管的长时间使用温度＜1100℃
• 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）