多靶激光溅射混合雾化沉积管式炉

产品特点

• 可与准分子激光器配合进行PLD制膜
• 腔体内部可安装多块靶材，进行多靶激光蒸发
• 腔体内部靶材可旋转
• 可对基片加热（zui高温度可达1200℃）

加热炉（对基片加热）

• 双层壳体结构，并带有风冷系统，使壳体表面温度小于60℃
• 加热元件：掺钼铁铬铝合金（表面涂有氧化锆涂层）
• zui高工作温度：1200℃
• zui大功率：1.2KW

腔体

• 基片加热腔体为高纯石英材料
• 靶材蒸发腔体为不锈钢材料
• 靶材蒸发腔体内可安装3块靶材，并且靶材可旋转（转速：0-30rmp）
• 两个腔体通过卡箍式法兰连接（可点击图片查看详细资料）
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真空度

• 10^-2Torr(采用机械泵)
• 10^-5Torr(采用涡旋分子泵)
• 可在本公司购买各种真空泵
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窗口

• 采用蓝宝石（Al2O3）
• 尺寸：Φ25*0.5mm
• 允许激光的入射角度为30°-90°
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• 一套压力控制系统安装在仪器的腔体上，可保证腔体内部的气压恒定
• 与混气系统配合使用，可保证蒸发腔体中各种气体的分压恒定
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混气系统

• 配有2路质量流量计混合系统
• 混气罐尺寸：Φ80X120mm
• zui大气压：3×106Pa
• 精度：±1%FS
• 质量流量计量程：1:1-199sccm
                 2:1-499sccm
• 可按客户要求订制其他量程的质量流量计
• 可选购3-5路混气系统

等离子射频电源（可选购）

• 可在设备上安装300W等离子射频电源，使腔体内的气体等离子化，达到等离子化激光蒸发反应镀膜
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质保期

一年质保期，终生维护（不包括密封圈、石英腔体和加热元件）

仪器尺寸

1300mm*1260mm*820mm

质量认证

• CE质量认证
• 所有电器元件（>24V）都通过UL / MET / CSA认证
• 若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证