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含滑轨法兰的管式炉--OTF-1200X-SF

简要描述:OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm,带有滑轨法兰的管式炉,Z高工作温度为1200℃,此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。

  • 产品型号:OTF-1200X-SF
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-22
  • 访  问  量:1738

详细介绍

OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm,带有滑轨法兰的管式炉,zui高工作温度为1200℃,此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。

 

技术参数

炉体结构

  • 炉管尺寸:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)
  • zui高工作温度为1100℃
  • 右端安装有一水冷滑轨法兰,以便于放样和取样
  • 在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰
  • 左端水冷法兰上有个气体接口,用于客户通入反应气体(点击图片查看详细资料)
  •  

电源

单相, 220V AC, 50/60 Hz

zui大功率    

3.6KW(需要20A的空气开关)

加热区

  • 主反应炉:440mm
  • 恒温区:100mm

温控系统

  • 采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序
  • 采用K型热电偶
  • 控温精度:+/- 1
  • 可选购控温软件,可通电脑来设置和显示温度程序
  •   

密封法兰

右端法兰:

  • 水冷却法兰,通过冷却循环水对密封圈进行水冷(可在本公司购买循环水冷机)
  • 法兰上有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接
  • 炉体内的样品台与法兰相连接,并且右端法兰为滑轨法兰,以便于放样和取样
  • 法兰上安装有一数显防腐真空计(如下图)

净重

100kg

尺寸

 

  • 右端法兰关闭时的尺寸:1220mm×458mm×585mm(48"L X 18"W X 23"H)
  • 右端法兰打开时的zui大尺寸:1676mm×458mm×585mm(66"L X 18"W X 23"H)

质保

一年质保期,终身维护(不包含炉管、密封圈和加热元件)

质量认证

  • 质量认证
  • 所有电器元件(输入电压>24V)都通过了UL认证
  • 本公司所有高温炉都可通过TUV、UL或CSA认证
  •      

注意事项

  • 炉管内气压(相对气压)需小于0.02MPa
  • 所用气瓶上必须安装减压阀(可在本公司购买减压阀)
  • 当设备温度高于1000℃时,炉管内部不可处于真空状态,需处于常压或微正压状态
  • 进气流量需小于200sccm

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