咨询热线

18255163376

当前位置:首页   >  产品中心  >    >  CVD、PECVD设备  >  OTF-1100X11Z3LV CVD

OTF-1100X11Z3LV CVD

简要描述: OTF1100X11Z3LV CVD system consists of 11" diameter three zone tube furnace with mechanical vacuum pump system (up to 10-2 torr ) and 6 channel precision digital Mass flow-meters, which can control nine types of gases for CVD or diffusion

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-21
  • 访  问  量:1604

相关文章

Related Articles

详细介绍

我公司供应的产品符合国家有关环保法律法规的规定(含采购商ISO14000环境体系要求),不会造成环境污染;
     该产品符合采购商OHSMS18000职业安全健康管理体系标准的要求,不会对接触产品的人员健康造成损害!
主要特点: 采用电阻丝加热;30段程序控温;3个独立温区,可通气氛抽真空

设备的控制系统,具有安全可靠、操作简单、控温精度高(专家PID控制)、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、可通气氛抽真空等特点。


 
技术参数:
功率: 8 Kw
电源:AC220V  , 50/60 Hz  (使用时需配 50A空气开关)

加热元件:掺钼铁铬铝合金

zui高温度: 1100 oC

长期使用温度: 1000 oC

zui快升温速率: ≤ 10  oC /min

炉管尺寸及材质: 石英管;外径279 x内径269 x长度1524mm

加热区长度:三个温区分别是300 mm + 300 mm + 300mm  

温区总长:  900 mm

恒温区长度: 500 mm ( 在恒温区内温度误差 ± 1oC)

 

温度控制器:

三块30段高精度温度控制器,可分别单独控制每个温区
自动PID调节功能,可使温度控制精度保持在± 1oC
设有自动超温及断偶报警功能。
请点击此处下载  使用操作说明书    
热电偶类型: 3只K型热电偶分别安装于每个温区

真空密封法兰:

可直接连接PV软管
采用双硅胶O型圈密封可耐温 300oC
配有氧化铝绝热堵头有效的阻止热辐射起到保护法兰的目的
真空系统:

采用双旋叶机械泵于分子泵相结合,zui高真空度可达 10-3.帕  
1台分子泵
配有一只电阻规于电离规作为检测元件 
波纹管连接
可选配数字真空计(美国进口)
 
 

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

联系我们

中美合资合肥科晶材料技术有限公司 公司地址:安徽省合肥市蜀山区科学院路10号   技术支持:化工仪器网
  • 联系人:朱沫浥
  • QQ:2880135211
  • 公司传真:86-551-65592689
  • 邮箱:zhumoyi@kjmti.com

扫一扫 更多精彩

微信二维码

网站二维码