咨询热线

18255163376

当前位置:首页   >  产品中心  >    >  管式炉  >  单温区GSL-1100X-6-S6单温区CVD真空管式炉

6单温区CVD真空管式炉

简要描述:GSL-1100X-6-S 是一款炉管内径为 6“ 的真空管式炉 , 它可以在Z大5“的基片上生长多种薄膜(在不同气氛下). 该炉的Z高工作温度为 1100°C, 采用30段可编程PID数字温度控制器,温控精度: ±1°C。

  • 产品型号:单温区GSL-1100X-6-S
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2024-02-21
  • 访  问  量:1272

详细介绍

    GSL-1100X-6-S 是一款炉管内径为  6" 的真空管式炉 , 它可以在zui大5“的基片上生长多种薄膜(在不同气氛下). 该炉的zui高工作温度为 1100°C, 采用30段可编程PID数字温度控制器,温控精度: ±1°C。


技术参数

炉体结构

  • 双层壳体,循环风冷
  • 炉体表面温度< 70 ºC
  • 采用高纯度氧化铝多晶纤维保温材料,环保节能

工作电压

AC 220V

功率

8KW

炉管规格

  • 6" O.D x  40" 
  •  标配内包含一只石英管多余的管子可单独订购 (点击下图查看)

加热元件

NiCrAl 电阻丝

工作温度

  • 工作温度: 400 -1100°C
  • 升降温速率: 10°C/min(max)

加热区

  • 加热区总长:    600mm (24'')
  • 恒温区长度中心200mm (精度±1°C)
  • 800℃时炉膛温度分布曲线点击下图查看)    

控温仪

  • 采用30段可编程PID数字温度控制器
  • 设有一个额外的温度校准检测系统
  • K型热电偶测温.
  • 温控精度: ±1°C
  • 软件接口、模块和PC机不在标配内需额外订购
  • 可选: PC接口和软件

密封法兰和进气接口

  • 不锈钢真空密封法兰双硅胶密封圈密封真空度可达到  (机械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在内
  •  右端法兰上设有一个铠装热偶检测口和KF40真空接口.   如需对炉膛温度进行校准请订购36" 长 x 1/4"dia  K 型热电偶)
  • 包括两个高纯氧化铝或石英管堵,设备使用时右端必须安装管堵阻止热的辐射

产品尺寸

炉体:  1000L x 680W x 920 H  mm

净重

250Kg

保修期

整机保修一年,相关耗材除外。(如密封圈、炉管等)

质量认证

   Certificate

产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

联系我们

中美合资合肥科晶材料技术有限公司 公司地址:安徽省合肥市蜀山区科学院路10号   技术支持:化工仪器网
  • 联系人:朱沫浥
  • QQ:2880135211
  • 公司传真:86-551-65592689
  • 邮箱:zhumoyi@kjmti.com

扫一扫 更多精彩

微信二维码

网站二维码