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管式炉使用前需要做好哪些准备工作?

更新时间:2022-06-15      点击次数:1389
  管式炉是在沉底材料上生长优质石墨烯、碳纳米管和碳化硅的专用设备,广泛应用于半导体、纳米材料、碳纤维、碳化硅、涂层等新材料和新工艺。它在使用前需要做好哪些准备工作呢?
  
  1、设计温度升降曲线。升温速率不得高于10℃/min,降温速率应低于15℃/min。
  
  2、清洁环境。
  
  3、每周开始使用时,检查机械泵油路是否在标线以上,取下两端盖板,用吸尘器清洁刚玉炉管。
  
  4、将样品舟推入刚性管式炉中间(恒温长度10cm)。
  
  5、塞住两个绝缘炉塞,使第二个炉塞的末端与炉体侧面齐平。
  
  6、安装燃气炉法兰,确认垫片落入凹槽内。
  
  管式炉使用步骤:
  
  1、打开主电源,启动风扇。
  
  2、打开面板电源(顺时针转动锁定旋钮)启动面板。
  
  3、使仪表处于初始状态(即PV显示数值,SV闪烁显示停止)。如果此时不在此状态,按向上键复位仪器,使仪器只处于测量和显示状态。
  
  4、长按左键1秒,进入温度设定状态。按左键移动光标,按上下键调整温度设定值。
  
  5、按Enter键1秒,进入时间设置状态。按左键移动光标,按上下键调整时间设定值。
  
  6、节目后的下一步是时间状态,值为-121结束所有节目。按回车确认。
  
  7、按住左键,然后按Enter键退出程序设置。
  
  8、按左键进入程序设置状态,然后连续按确定键,检查设置的程序是否符合预定的升温降温曲线。
  
  9、按住左键,然后按回车键复位。
  
  10、长按2秒进入基本参数设置。连续按回车键查看基本参数。
  
  11、按住左键,然后按回车键重置
  
  12、按回车键1秒,查看是否为step1,即程序从step开始。
  
  13、按住左键,然后按回车键复位。
  
  14、按住向下键2秒,SV显示运行程序。
  
  15、按绿色开机键启动加热电源,观察电流表和电压表:(若工作电流超过150A持续数秒,按关机键断开加热电源,检查功能参数设置)。
  
  16、当使用惰性气体作为工作气体时,加热过程中要密切注意压力表。如果压力高于0.08mpa,立即打开出口阀门放空。
  
  17、以氢气为工作气体时,冷却过程中注意监控锥形瓶中的气体出口。如有反吸,立即逆时针调节流量计旋钮,增加进气量。
  
  18、管式炉升温、保温、降温过程中操作人员不得离开。发生跳闸时,应立即接通电源。

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