高真空蒸发镀膜仪可实现多层涂装混合涂装

　　高真空蒸发镀膜仪采用前开门真空室设计，室高增加到500mm。样品台与蒸发源之间的距离有较大的调节范围，可适应多种蒸发要求，避免样品在蒸发源中高处损坏。

　　高真空蒸发镀膜仪配有四套钨舟蒸发源和水冷铜电极。每个蒸发源支持100A的大电流和1800°C的加热温度，可实现多层涂装或多种材料混合涂装。型腔采用上样品台，样品台可旋转、加热、升降，所有操作均可通过触摸屏集成控制。设备真空系统为两级旋片泵和涡轮分子泵组成的两级真空系统，可提供洁净无油的高真空环境。该设备配有气动阀门系统。通过操作系统的自动控制，用户可以通过触摸屏进行一键抽真空、不停机采样、*关机等操作。

　　蒸发镀膜仪可提供100A的镀膜电流，蒸发温度可达1800℃，可满足各种普通金属的蒸发和部分非金属的蒸发。真空室由非不锈钢制成。出厂时已脱气，配合分子泵组可达到极限真空，可满足大部分物料蒸发所需的真空环境。真空室采用翻盖式开启方式，取放方便。腔体设有带挡板的自适应观察窗，用于观察镀膜过程，挡板可有效防止观察窗被薄膜材料污染。

　　高真空蒸发镀膜仪是一个多功能系统，具有灵活性和模块化可扩展性，可适应不同的样品制备。它可用于从蒸笼和坩埚以及可选的溅射附件蒸发中蒸发碳和金属。可以应用一系列经过验证的技术，包括碳涂层和TEM涂层、碳/金属蒸发、使用双源蒸发的小角度和顺序涂层，并且可选的溅射涂层附件可以应用于各种目标。

　　1、采用微处理器控制器，提高了系统的灵活性，用户可以方便地添加各种选项。但是，这些“默认”操作已经过优化，因此可以实现自动和手动操作。

　　2、*的抽屉式上样系统，方便用户放入各种样品，铰接式顶盖结构方便到达系统其他区域。

　　3、涡轮分子泵安装在系统外，蒸发镀膜仪安装更换方便。它的前置真空是旋转真空泵。整个抽气过程是全自动的，达到高真空后会蒸发。仪器为台式，使用中疏忽易控制，易损坏。