咨询热线

18255163376

当前位置:首页  >  技术文章  >  小型蒸镀仪的操作包括以下基本过程

小型蒸镀仪的操作包括以下基本过程

更新时间:2021-04-13      点击次数:1274
  小型蒸镀仪是一种在真空条件下加热蒸发容器中待蒸发材料的方法,以使原子或分子蒸发并从表面逸出以形成蒸气流,进入基材或基材表面,然后凝结成固体膜。
  小型蒸镀仪包括以下基本过程:
  (1)加热蒸发过程:包括从冷凝相变为气相的过程,并且每种蒸发物质在不同温度下具有不同的饱和蒸气压。
  (2)气态原子或分子在蒸发源和基质之间的传输,即原子或分子在周围大气中的飞行过程。
  (3)蒸发的原子或分子在基板表面上的沉积过程。即,蒸发,冷凝,成核,成核生长,形成连续的膜。由于基材的温度远低于蒸发源的温度,因此气态分子将直接经历从基材表面上的气态到固态的相变过程。
 

小型蒸镀仪

 

  小型蒸镀仪中有两个不同用途的蒸发头:它们用金属箱蒸出以进行碳蒸发。注意:使用碳棒蒸发头时,一根电极线连接到仪器背面的黑孔,一根电极线连接到红色孔;使用金属蒸发头时,一根电极线连接到仪器背面的黑孔,一根电极线连接到绿色孔。
  1、将要溅射的基材放入气相沉积设备的腔室中。
  2、根据所需的蒸发材料选择金属蒸发头/钨筐或碳蒸发头,并按照仪器操作规程的里德规程安装所需的蒸发材料。使用碳棒蒸发头时,一根电极线连接到仪器背面的黑孔,一根电极线连接到红色孔;使用金属蒸发头时,一根电极线连接到仪器背面的黑孔,一根电极线连接到绿色孔。
  3、按照仪器操作规则逐步操作仪器,实验结束后取出样品。由于长期使用会在腔室周围沉积一层厚厚的涂层,因此请根据实际情况及时清洁腔室。但是,请勿使用有机试剂(如丙酮,乙醇等)清洁橡胶圈,以免由于老化而漏气。关闭主机电源和原点。最后,切断仪器的主电源并盖上仪器。

联系我们

中美合资合肥科晶材料技术有限公司 公司地址:安徽省合肥市蜀山区科学院路10号   技术支持:化工仪器网
  • 联系人:朱沫浥
  • QQ:2880135211
  • 公司传真:86-551-65592689
  • 邮箱:zhumoyi@kjmti.com

扫一扫 更多精彩

微信二维码

网站二维码