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真空管式炉的安全使用注意事项

更新时间:2017-09-21      点击次数:1281
  真空管式炉是在真空环境中进行加热的设备,一般由炉膛、电热装置、密封炉壳、真空系统、供电系统和控温系统等组成。真空炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉和等离子炉等。
  真空管式炉一般在春秋季节泄漏故障较多,长期闲置的真空炉在才次使用时真空炉泄漏故障比较易发生。
  这时间就必须进行真空检漏,真空检漏一般采取每月一次测压升率(在常温下,关闭所有真空阀,停止真空系统运转,1Omin后读一个数,1h后再读一个数,两数之差是压升率的数值),掌握设备泄漏变化趋势,如真空设备连续停机一个礼拜,要空运转一次(进行烘炉)。
  1、在实验工作完毕以后,要关特殊气体,保留N2流动即可。真空气氛炉管要保持在standby温度,并要仔细查看其它电源是否关闭,如果没有就随手关闭。
  2、在晶片进出炉口承接boat的holder的时候,尽量不要碰触管式炉的炉管口,以免炉管受到污染。
  3、在没有使用到时,要将炉子的长短推杆的前端朝上放置,以免污染。
  4、在使用管电炉时还要避免吸入从炉子或者是处理槽所冒出的各种气体,以便发生中毒的情况。
  5、工件--工件车须经清洗干燥后方克进入炉内,防止水份、污物进入炉内。
  6、各传动件发现卡位,限位不准,控制失灵等现象时,应立即排除,不要强操作,以免损坏机件。
  在试验过程中,请节约纯水的使用,一旦发现安全隐患或者不正常的现象时,要尽快通知有关技术人员,以防止事故的发生。

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