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等离子镀膜设备发挥的作用还真不少

更新时间:2022-03-22      点击次数:772
  等离子镀膜设备是一种小型射频(RF)等离子磁控溅射镀膜仪器系统。该系统包括所有必需的配件,如300W(13.5mhz)射频电源、2"磁控溅射头、石英真空室、真空泵和温度控制器。它是制作一些金属和非金属的又好又便宜的实验帮手。
  在镀膜领域,镀膜后薄膜样品的厚度是影响薄膜性能的重要因素。因此,在评价薄膜样品的性能时,需要对薄膜样品在不同厚度下的性能进行测试。等离子镀膜设备集成了真空镀膜系统和手套箱系统,可在高真空蒸发室中完成薄膜蒸发,并将蒸发后的样品在手套内的高纯惰性气体气氛中储存、制备和检测盒子。蒸发镀膜与手套箱相结合,实现了蒸发、封装、测试等过程的全封闭生产,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个环境气氛可控的完整系统中,消除了不稳定因素的影响。有机大面积电路制备过程中的大气环境因素,保证了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。
  等离子镀膜设备精抽太慢的原因有哪些?
  1、扩散泵可能不太给力。
  解决办法:可以用电离规单接到扩散泵泵口,看扩散泵单抽能达到多少,要看抽的时间和极限,然后进行对比。
  2、真空系统有微漏。
  解决办法:这就需要慢慢检漏,看看保真空时间能不能达不达标。
  3、箱体太脏,太脏放气量就大了。
  解决办法:清洗箱体
  4、前级真空度不行,机械泵或机械泵加罗茨泵的极限真空不行。
  解决办法:可以用电阻规单独检测前级管道。

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