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使用1200℃开启式管式炉要注意的细节还真不少

更新时间:2022-03-07      点击次数:2284
  1200℃开启式管式炉具有基础温度低、沉积速度快、成膜质量好、针孔少、不易开裂等优点;在此过程中,由于等离子体中的高速电子撞击中性反应气体分子,中性反应气体分子会变成碎片或处于活化状态,容易发生反应;在射频的帮助下,含有薄膜原子的气体在局部形成等离子体,等离子体具有很强的化学活性,易于反应在基板上沉积所需的薄膜;高真空系统由两级旋片真空泵和分子泵组成,真空度可达0.001pa;数字质量流量控制系统由多通道质量流量计和流量显示仪表组成,实现气体流量的精确测量和控制;每条燃气管道均配备高压止回阀,确保系统的安全性、连续性和均匀性。那我们在具体的使用过程中还要注意哪些细节呢?

 

1200℃开启式管式炉
 

 

  1、炉管内气压不得高于0.02MPa。由于气瓶内部气压较高,在将气体引入炉管时,必须在气瓶上安装减压阀。
  2、炉体温度高于1000℃时,炉管不能处于真空状态,炉管内气压必须与大气压相等并保持在大气压。
  3、进入炉管的气体流量应小于200sccm,以避免冷大气流对加热的石英管的影响。石英管的长期使用温度应小于1100℃。
  4、样品加热实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀。如果需要关闭空气阀来加热样品,请随时注意压力表的指示。如果气压示值大于0.02MPa,必须立即打开放空阀,以防发生意外(如炉管破裂、法兰飞边等)。
  5、1200℃开启式管式炉使用或长期不使用后,应在120℃左右烘烤1小时,在300℃左右烘烤2小时后使用,以免炉裂。不要超过炉衬的额定温度,以免损坏炉衬。禁止将各种液体和溶解的金属直接倒入炉内,以保持炉内清洁。
  6、开式管式炉使用时,由于炉膛较冷,需要吸收大量热量,低温段的升温速度不易过快,且各温度的升温速度不同截面不易过大。在设定升温速率时,要充分考虑烧结材料的物理化学性能,避免喷溅污染炉管。
  7、1200℃开启式管式炉使用一段时间后,如果真空度下降,更换不锈钢法兰之间的耐温硅橡胶圈或重新安装不锈钢法兰或更换和维修真空系统,以提高整体真空度系统的程度。

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